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BAM certified reference materials for nano-metrology: Preparation, characterisation and certification

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Autor*innen:Michael Griepentrog, Uwe Beck
Persönliche Herausgeber*innen:J. Schulte, X. Niu
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of the 3rd Annual Conference of the Asia Pacific Nanotechnology Forum
Jahr der Erstveröffentlichung:2005
Herausgeber (Institution):Shanghai Nanotechnology Promotion Centre
Verlag:Asia Pacific Nanotechnology Forum
Verlagsort:Sydney
Erste Seite:71
Letzte Seite:83
Freie Schlagwörter:Certified reference materials; Destructive testing; Film thickness; Mechanical properties; Naoindentation; Non-destructive testing; Surface acoustic waves
Veranstaltung:3rd Annual Conference of the Asia Pacific Nanotechnology Forum
Veranstaltungsort:Shanghai, China
Beginndatum der Veranstaltung:2004-12-09
Enddatum der Veranstaltung:2004-12-12
ISBN:0-97-57537-1-1
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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