Physical and Chemical Characterization of thermal and native Siliconoxide layers on Silicon
Autor*innen: | B. Güttler |
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Koautor*innen: | D. Schiel, H. Danzebrink, Wolfgang Unger, Thomas Gross, Andreas Lippitz, J.-P. Müller |
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Symposium "Reference Materials for Technologies in the New Millenium" |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
Veranstaltung: | Symposium "Reference Materials for Technologies in the New Millenium" |
Veranstaltungsort: | Berlin, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2000-05-22 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2000-05-23 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |