MetadatenAutor*innen: | S. Bütefisch, T. Weimann, I. Busch, H.-U. Danzebrink, Thomas Gross, Wolfgang UngerORCiD, Thomas Wirth |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensor 2015 - 17th International conference on sensors and measurement technology (Proceedings - AMA conferences 2015) |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2015 |
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Herausgeber (Institution): | AMA Service GmbH |
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Erste Seite: | Chapter P7, 821 |
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Letzte Seite: | 825 |
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Freie Schlagwörter: | Imaging XPS; Micro technology; Reference material; Topography free |
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Veranstaltung: | Sensor 2015 - 17th International conference on sensors and measurement technology |
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Veranstaltungsort: | Nuremberg, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 19.05.2015 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 21.05.2015 |
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DOI: | 10.5162/sensor2015/P7.1 |
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ISBN: | 978-3-9813484-8-4 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
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Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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