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Dynamic plowing nanolithography on polymethylmethacrylate using an atomic force microscope

  • We present dynamic plowing nanolithography on polymethylmethacrylate films, performed with a scan-linearized atomic force microscope able to scan up to 250 μm with high resolution. Modifications of the surface are obtained by plastically indenting the film surface with a vibrating tip. By changing the oscillation amplitude of the cantilever, i.e., the indentation depth, surfaces can be either imaged or modified. A program devoted to the control of the scanning process is also presented. The software basically converts the gray scale of pixel images into voltages used to control the dither piezo driving cantilever oscillations. The advantages of our experimental setup and the dependence of lithography efficiency on scanning parameters are discussed. Some insights into the process of surface modifications are presented.

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Autor*innen:Brunero CappellaORCiD, Markus Geuss, Heinz SturmORCiD, M. Heyde, K. Rademann, T. Spangenberg, H. Niehus
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Review of scientific instruments
Jahr der Erstveröffentlichung:2001
Verlag:American Institute of Physics
Verlagsort:Melville, NY
Jahrgang/Band:72
Erste Seite:136
Letzte Seite:141
Freie Schlagwörter:Nanolithography
DOI:10.1063/1.1326053
URL:http://rsi.aip.org/
ISSN:0034-6748
ISSN:1089-7623
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:09.08.2000
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