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Structuring of thin films by ultrashort laser pulses

  • Modern life and global communication would not be possible without technologically tailored thin films; they are omnipresent in daily life applications. In most cases, the films are deposited entirely at the carrying substrates in a specific processing step of the device or sample. In some cases, however, removal or modification must be performed locally, i.e., site-controlled and material selective through an additional laser processing step. For that ultrashort laser pulses with durations in the femtosecond and picosecond range can provide unique advantages and capabilities in industrially scalable schemes. This article reviews the current state of the research and corresponding industrial transfer related to the structuring of thin films by ultrashort pulsed lasers. It focuses on the pertinent historic developments, reveals the relevant physical and chemical effects, explores the ultimate limits, and discusses selected industrial and scientific applications.

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Metadaten
Autor*innen:Jörn BonseORCiD, Jörg KrügerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied physics A
Jahr der Erstveröffentlichung:2023
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.2 Material- und Oberflächentechnologien
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:Springer
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:129
Ausgabe/Heft:1
Aufsatznummer:14
Erste Seite:1
Letzte Seite:38
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Angewandte Physik
Freie Schlagwörter:Femtosecond laser ablation; Laser damage; Laser processing; Thin films; Ultrashort lasers
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Energie
Material
Material / Nano
DOI:10.1007/s00339-022-06229-x
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-565732
ISSN:0947-8396
ISSN:1432-0630
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
Datum der Freischaltung:19.12.2022
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:17.01.2023
Paper des Monats:Ja
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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