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Film side laser patterning of molybdenum thin films sputter-deposited onto glass

  • Serial interconnection of CIGSe thin film solar modules involves typically glass-side laser patterning of the molybdenum layer (P1 scribe). In this paper we present a working principle of P1 film side patterning. The investigated samples were sputter-deposited onto soda-lime glass substrates. For understanding the fundamental ablation behavior, two kinds of layer systems were studied: on the one hand monolayer systems which are compressively stressed and on the other hand bilayer systems, consisting of a tensile stressed layer on the substrate and a second layer on top. The film-side ablation process was studied using a nanosecond as well as a picosecond laser source. The influence of intrinsic stress was studied by XRD. Time resolved spectroscopy reveals the formation of plasma as important driving mechanism for ablation. It is shown that by proper adaption of the sputter conditions high-quality P1 film side patterning is achieved.

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Autoren/innen:C. Schultz, M. Schüle, K. Stelmaszczyk, Jörn Bonse, R. Witteck, M. Weizman, H. Rhein, B. Rau, R. Schlatmann, V. Quaschning, B. Stegemann, F. Fink
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):27th European photovoltaic solar energy conference and exhibition (Proceedings)
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
Erste Seite:2266
Letzte Seite:2272
Freie Schlagwörter:Ablation; Cu(InGa)Se2; Laser processing; Molybdenum; Sputter deposition; Strain
Veranstaltung:27th European photovoltaic solar energy conference and exhibition
Veranstaltungsort:Frankfurt, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:24.09.2012
Enddatum der Veranstaltung:28.09.2012
DOI:https://doi.org/10.4229/27thEUPVSEC2012-3CV.1.6
ISBN:3-936338-28-0
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein