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Femtosecond laser pulse irradiation effects on thin hydrogenated amorphous carbon layers

  • The irradiation of ~0.9-µm-thick hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) layers deposited on silicon substrates with single femtosecond (fs) laser pulses (35 fs pulse duration, 790 nm centre wavelength) in air is studied experimentally. Irradiation spots have been generated with different peak fluences and subsequently investigated by optical topometry, micro Raman spectroscopy and microscale mechanical indentation in order to evaluate their microscopic, topographical, structural and mechanical properties (e.g. elastic modulus). By this multi-method approach, a clear separation of different effects (delamination and graphitisation) becomes possible. The joint application of mechanical and spectroscopic techniques provides unique insights into the effects of the fs-laser radiation on the carbon layer.

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Metadaten
Autoren/innen:Jörn Bonse, Andreas Hertwig, Robert Koter, Matthias Weise, Uwe Beck, Philipp Reinstädt, Michael Griepentrog, Jörg Krüger, M. Picquart, E. Haro-Poniatowski
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied physics A
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Organisationseinheit der BAM:6 Materialschutz und Oberflächentechnik
6 Materialschutz und Oberflächentechnik / 6.4 Technologien mit Nanowerkstoffen
6 Materialschutz und Oberflächentechnik / 6.7 Oberflächenmodifizierung und -messtechnik
Verlag:Springer
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:112
Ausgabe/Heft:1
Erste Seite:9
Letzte Seite:14
DOI:https://doi.org/10.1007/s00339-012-7170-5
ISSN:0947-8396
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:10.06.2013