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Structuring of thin films by ultrashort laser pulses
- Modern life and global communication would not be possible without technologically tailored thin films; they are omnipresent in daily life applications. In most cases, the films are deposited entirely at the carrying substrates in a specific processing step of the device or sample. In some cases, however, removal or modification must be performed locally, i.e., site-controlled and material selective through an additional laser processing step. For that ultrashort laser pulses with durations in the femtosecond and picosecond range can provide unique advantages and capabilities in industrially scalable schemes. This article reviews the current state of the research and corresponding industrial transfer related to the structuring of thin films by ultrashort pulsed lasers. It focuses on the pertinent historic developments, reveals the relevant physical and chemical effects, explores the ultimate limits, and discusses selected industrial and scientific applications.
Autor*innen: | Jörn BonseORCiD, Jörg KrügerORCiD |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Applied physics A |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2023 |
Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
6 Materialchemie / 6.2 Material- und Oberflächentechnologien | |
Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Verlag: | Springer |
Verlagsort: | Berlin |
Jahrgang/Band: | 129 |
Ausgabe/Heft: | 1 |
Aufsatznummer: | 14 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 38 |
DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Angewandte Physik | |
Freie Schlagwörter: | Femtosecond laser ablation; Laser damage; Laser processing; Thin films; Ultrashort lasers |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Energie |
Material | |
Material / Nano | |
DOI: | 10.1007/s00339-022-06229-x |
URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-565732 |
ISSN: | 0947-8396 |
ISSN: | 1432-0630 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
Lizenz (Deutsch): | Creative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International |
Datum der Freischaltung: | 19.12.2022 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 17.01.2023 |
Paper des Monats: | Ja |
Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |