MetadatenAutor*innen: | Jörn BonseORCiD, Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek, J. M. Wrobel |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing V |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2000 |
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Herausgeber (Institution): | United States / Air Force |
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Verlag: | SPIE |
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Verlagsort: | Bellingham, Wash. |
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Ausgabe/Heft: | 3933 |
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Erste Seite: | 280 |
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Letzte Seite: | 287 |
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Freie Schlagwörter: | Auger electron spectroscopy; Femtosecond laser ablation; Indium phosphide |
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Veranstaltung: | 5th Laser Applications in Microelectronics and Optoelectronics Manufacturing Conference (LAMOM) |
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Veranstaltungsort: | San José, CA, USA |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 240.01.2000 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 26.01.2000 |
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ISSN: | 1605-7422 |
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ISBN: | 0-8194-3550-3 |
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Bemerkung: | Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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