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Periodic surface structures generated by cross-polarized double femtosecond laser pulse irradiation sequences

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Metadaten
Autoren/innen:Jörn Bonse
Koautoren/innen:Jörg Krüger, S. Höhm, A. Rosenfeld
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Photonics West, SPIE Conference 8607 on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XVIII
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Organisationseinheit der BAM:6 Materialschutz und Oberflächentechnik
6 Materialschutz und Oberflächentechnik / 6.4 Technologien mit Nanowerkstoffen
Veranstaltung:Photonics West, SPIE Conference 8607 on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XVIII
Veranstaltungsort:San Francisco, CA, USA
Beginndatum der Veranstaltung:2013-02-02
Enddatum der Veranstaltung:2013-02-07
Verfügbarkeit des Volltexts:Weder Volltext-PDF noch papiergebundenes Belegexemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein