Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie / Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry
MetadatenAutor*innen: | Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Sonstiges |
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Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
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Sprache: | Mehrsprachig |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2004 |
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Verlag: | Beuth |
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Verlagsort: | Berlin |
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Ausgabe/Heft: | DIN PAS 1022 |
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Erste Seite: | 1 |
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Letzte Seite: | 17 |
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Freie Schlagwörter: | Ellipsometrie |
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Bemerkung: | Sprachen: Deutsch/Englisch - Languages: German/English |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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