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Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie

  • Der Vortrag widmet sich dem „Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie“ und beschreibt die experimentellen Eckdaten, die Ellipsometrie als Messmethode am Beispiel DLC auf Stahl, Proben vs. n-k Ebene vs. Ergebnisse des Ringversuches, messtechnische Bewertung des Ringversuches und normative Bewertung des Ringversuches sowie Schlussfolgerungen.

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  • Ringversuch Ellipsometrie 2016.pdf
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Autor*innen:Uwe Beck
Koautor*innen:Andreas HertwigORCiD
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Jahr der Erstveröffentlichung:2016
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Amorphe Kohlenstoffschichten; Ellipsometrie; Klassifizierungssystem; Optische Konstanten
Veranstaltung:9. Sitzung DIN NA 062-01-64 „Kohlenstoffschichten“
Veranstaltungsort:Berlin, Deutschland
Beginndatum der Veranstaltung:09.05.2016
Enddatum der Veranstaltung:09.05.2016
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:02.11.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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