Spektroskopische Ellipsometrie - Referenzverfahren für die Qualitätssicherung
Autor*innen: | Uwe Beck, Steffen Baudach, Marion Männ |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 2. Workshop Ellipsometrie |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Veranstaltung: | 2. Workshop Ellipsometrie |
Veranstaltungsort: | Berlin, Deutschland |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-02-18 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-02-20 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |