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Hybrid metrology for microscopy of nanoparticles

  • This presentation is structured in two parts: i) Hybrid metrology by combining SEM with AFM (N. Feltin) and ii) hybridization and corelative microscopy by SEM, STEM-in-SEM, TEM, EDS, Auger Electron Microscopy, TKD and more (D. Hodoroaba). The first part is focused on the metrological part of the hybrid measurement SEM-AFM, the second part offers some further possibilities of correlative microscopy of nanoparticles based on practical examples.

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Autor*innen:Vasile-Dan HodoroabaORCiD, N. Feltin
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2020
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:AFM; Correlative imaging; Metrology; Nanoparticles; Particle size distribution; SEM; STEM-in-SEM (TSEM)
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
Material
Material / Nano
Veranstaltung:EMPIR nPSize Training Course "Metrology for Measurement of Nanoparticle Size by Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy"
Veranstaltungsort:Online meeting
Beginndatum der Veranstaltung:27.10.2020
Enddatum der Veranstaltung:27.10.2020
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:29.10.2020
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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