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Surface analysis - Auger electron spectroscopy

  • Basic principles and technical realization of Auger Electron Spectroscopy (AES) are presented. Different modes of application are briefly addressed. These are spectroscopy at nanoscaled surface layers including quantitative element analysis and chemical state analysis, in-depth element analysis, imaging and element mapping. A survey on standards related to application of AES in surface chemical analysis is given.

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Metadaten
Autor*innen:Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Reference module in chemistry, molecular sciences and chemical engineering
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Verlag:Elsevier Inc.
Erste Seite:466
Letzte Seite:475
Freie Schlagwörter:AES; Auger electron spectroscopy; Chemical state analysis; Depth profiling; Element analysis; Imaging; Surface analysis; Surface chemical analysis
DOI:10.1016/B978-0-12-409547-2.00516-3
URL:http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/B9780124095472005163
ISBN:978-0-12-409547-2
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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