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Structuring of dielectric and metallic materials with ultrashort laser pulses between 20 fs and 3 ps

  • Laser-micromachining of barium aluminum borosilicate glass, fused silica and stainless steel has been extended down to a pulse duration of 20 fs generated by a Ti:sapphire laser system at a wavelength of 0.8 micrometer. A systematic study shows that, below 100 fs, an enhanced precision and a substantial decrease of the ablation threshold fluence in comparison to pulse laser processing with pulses in the picosecond and nanosecond range could be achieved. The physical mechanism and the technical relevance of this novel microtechnology is discussed.

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Autor*innen:Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, F. Krausz
Persönliche Herausgeber*innen:J. Dubowski
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing II
Jahr der Erstveröffentlichung:1997
Verlag:SPIE
Verlagsort:Bellingham, Wash.
Ausgabe/Heft:2991
Erste Seite:40
Letzte Seite:47
Freie Schlagwörter:Ablation; Femtosecond pulse laser; Glass; Laser processing; Micromachining; Silica; Steel; Structuring
Veranstaltung:Conference
Veranstaltungsort:San José, CA, USA
Beginndatum der Veranstaltung:1997-02-10
Enddatum der Veranstaltung:1997-02-12
DOI:10.1117/12.273740
ISSN:1605-7422
ISBN:0-8194-2402-1
Bemerkung:
Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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