Thin film analysis by SEM/EDX (EPMA)
- A short overview of thin film analysis by SEM/EDX is presented. Relevant steps such as optimization of instrumnetal parameters, extraction of net peak areas, use of standards, calculation of k-values and quantification with the dedicated thin film analysis software (Stratagem) are explained. Examples of different layered aystems are given together with validation of the results.
Autor*innen: | Vasile-Dan HodoroabaORCiD |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2017 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Freie Schlagwörter: | EPMA; SEM/EDX; Thin film analysis; k-values |
Veranstaltung: | Seminar Max-Planck-Institut fur Mikrostrukturphysik, Department Nano-Systems from ions, spins and electrons |
Veranstaltungsort: | Halle (an der Saale), Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 23.02.2017 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 24.02.2017 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |