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Thin film analysis by SEM/EDX (EPMA)

  • A short overview of thin film analysis by SEM/EDX is presented. Relevant steps such as optimization of instrumnetal parameters, extraction of net peak areas, use of standards, calculation of k-values and quantification with the dedicated thin film analysis software (Stratagem) are explained. Examples of different layered aystems are given together with validation of the results.

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Metadaten
Autor*innen:Vasile-Dan HodoroabaORCiD
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:EPMA; SEM/EDX; Thin film analysis; k-values
Veranstaltung:Seminar Max-Planck-Institut fur Mikrostrukturphysik, Department Nano-Systems from ions, spins and electrons
Veranstaltungsort:Halle (an der Saale), Germany
Beginndatum der Veranstaltung:23.02.2017
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:24.02.2017
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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