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Standards for thin film technologies

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Autor*innen:Georg Reiners
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of the Short Courses
Jahr der Erstveröffentlichung:1996
Herausgeber (Institution):Deutsche Vakuum-Gesellschaft
Verlag:sfv
Verlagsort:Paris
Jahrgang/Band:279
Ausgabe/Heft:179
Erste Seite:1
Letzte Seite:23
Freie Schlagwörter:Dünnschichttechnologie; Normung
Veranstaltung:5th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films ; TATF '96
Veranstaltungsort:Colmar, France
Beginndatum der Veranstaltung:1996-04-01
Enddatum der Veranstaltung:1996-04-03
Bemerkung:
Serientitel: Le vide, les couches minces, Suppl. – Series title: Le vide, les couches minces, Suppl.
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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