Evaluation of Lateral Resolution and Spot Size: Imaging and Mapping Ellipsometry vs. White Light Interference and Atomic Force Microscopy
MetadatenAutor*innen: | Uwe Beck |
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Koautor*innen: | Andreas HertwigORCiD, Ralph Stephanowitz, Mario Sahre, Matthias Weise |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
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Veröffentlichungsform: | Präsentation |
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Sprache: | Deutsch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 5th Workshop Ellipsometry |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2009 |
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Veranstaltung: | 5th Workshop Ellipsometry |
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Veranstaltungsort: | Zweibrücken, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2009-03-02 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2009-03-04 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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Eingeladener Vortrag: | Nein |
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