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Evaluation of Lateral Resolution and Spot Size: Imaging and Mapping Ellipsometry vs. White Light Interference and Atomic Force Microscopy

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Autor*innen:Uwe Beck
Koautor*innen:Andreas HertwigORCiD, Ralph Stephanowitz, Mario Sahre, Matthias Weise
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):5th Workshop Ellipsometry
Jahr der Erstveröffentlichung:2009
Veranstaltung:5th Workshop Ellipsometry
Veranstaltungsort:Zweibrücken, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2009-03-02
Enddatum der Veranstaltung:2009-03-04
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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