• Treffer 1 von 4
Zurück zur Trefferliste

Determination of Thin Film Thickness and Composition using Energy Dispersive EPMA

  • Electron Probe Microanalysis (EPMA) provides a non-destructive approach in the dedicated thin film analysis mode with the commercial StrataGem software. Recently, the open-source programme BadgerFilm by Moy and Fournelle became available. Similarly to StrataGem, it is based on the algorithm of Pouchou and Pichoir and needs intensity ratios of the unknown sample and standards (k-values). We have evaluated the k-values measured for the FeNi and SiGe film systems using the BadgerFilm software package and compared the thickness and composition with the results obtained with the established StrataGem software and other reference methods. The thicknesses of the SiGe films obtained by the BadgerFilm software agree within 20% with the StrataGem and TEM results; the elemental compositions BadgerFilm-StrataGEM agree within 2% with one exception (9%).

Volltext Dateien herunterladen

  • ScPos_TerborgHodoroaba_MnM_2022.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:R. Terborg, Vasile-Dan HodoroabaORCiD
Koautor*innen:K. J. Kim
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2022
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:BadgerFilm; Electron Probe Microanalysis (EPMA); Elemental composition; FeNi; SiGe; Thickness; Thin films
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Nano
Veranstaltung:Microscopy and Microanalysis 2022
Veranstaltungsort:Portland, OR, USA
Beginndatum der Veranstaltung:31.07.2022
Enddatum der Veranstaltung:4.8.2022
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:19.08.2022
Referierte Publikation:Nein
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.