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Long-term stability of a MEIS low energy hydrogen sensor

  • A hydrogen sensor based on a silicon Metal/Solid Electrolyte/Insulator/Semiconductor (MEIS) structure with thin layers of the super-ionic conductor LaF3 and Pd gate metal was investigated in a hybrid structure on a resistance heater mounted on a ceramic substrate. The sensor was operated at room temperature, however, a short heating impulse once a day ensures a fast and reproducible dynamic behavior. The sensor was characterized in the concentration range typical for alarm levels up to 40% of the lower flammability limit and shows a logarithmic dependency of the sensor signal from the hydrogen concentration and a mean sensitivity of about 140 mV/decade. The response time (t90) is about 8 s. In a long term test for a period of three month, the sensor was exposed to hydrogen every two weeks. The sensor signal was shown to be stable in dynamic behavior, sensitivity and signal difference.

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Autor*innen:M. Lang, Ulrich Banach, K. Nörthemann, A.-K. Gerlitzke, M. Milstrey, R. Kaufer, M. Woratz, Thomas Hübert, W. Moritz
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Sensors and actuators B: Chemical
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Verlag:Elsevier
Verlagsort:Amsterdam [u.a.]
Jahrgang/Band:187
Erste Seite:395
Letzte Seite:400
Freie Schlagwörter:Hydrogen detection; Long-term measurement; Low energy sensor; MEIS-structure
DOI:10.1016/j.snb.2012.12.081
ISSN:0925-4005
ISSN:1873-3077
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:14.10.2013
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