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Refined Calibration Model for Improving the Orientation Precision of Electron Backscatter Diffraction Maps

  • For the precise determination of orientations in polycrystalline materials, electron backscatter diffraction (EBSD) requires a consistent calibration of the diffraction geometry in the scanning electron microscope (SEM). In the present paper, the variation of the projection center for the Kikuchi diffraction patterns which are measured by EBSD is calibrated using a projective transformation model for the SEM beam scan positions on the sample. Based on a full pattern matching approach between simulated and experimental Kikuchi patterns, individual projection center estimates are determined on a subgrid of the EBSD map, from which least-square fits to affine and projective transformations can be obtained. Reference measurements on single-crystalline silicon are used to quantify the orientation errors which result from different calibration models for the variation of the projection center.

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Metadaten
Autoren/innen:A. Winkelmann, Gert Nolze, G. Cios, T. Tokarski, P. Bala
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Materials
Jahr der Erstveröffentlichung:2020
Organisationseinheit der BAM:5 Werkstofftechnik
5 Werkstofftechnik / 5.1 Materialographie, Fraktographie und Alterung technischer Werkstoffe
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:MDPI
Jahrgang/Band:13
Ausgabe/Heft:12
Erste Seite:2816
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:Electron backscatter diffraction; Kikuchi diffraction; Orientation precision; Projection center; Scanning electron microscopy
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Materialien und Stoffe
DOI:https://doi.org/10.3390/ma13122816
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-509342
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
Datum der Freischaltung:24.06.2020
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:06.07.2020
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM