Abschlussbericht für das Kooperationsprojekt zwischen Unternehmen und Forschungseinrichtungen (KF) - Nanoskalige Haftvermittler zur Erhöhung der Haft- bzw. Klebfestigkeit kritischer Verbundsysteme unter Verwendung von ALD-Hybridprozessen

  • Aufzählung der wichtigsten wissenschaftlich-technischen und anderer wesentlicher Ergebnisse • ALD Abscheidungen auf Polymeren (PE, PP, PTFE) unter Atmosphärendruck und im Vakuum mit Ozon als Oxidationsmittel wurden durchgeführt: o Mit Variation der Schichtdicke o Mit Variation der Zykluszeit o Mit und ohne Ozon Vorbehandlung der Oberfläche • ALD Abscheidungen auf (PE, PP, PTFE) in Vakuum mit O2- und H2-Plasma Vorbehandlung wurden durchgeführt. o Mit Variation der Schichtdicke o Mit Variation der Zykluszeit o Mit und ohne Plasma Vorbehandlung der Oberfläche • Die ALD Prozesse wurden mit in situ Laserellipsometrie untersucht. • Die ALD Schichten wurden für die Haftfestigkeit bei der BAM ausgewerte

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  • 2017-10-27 Abschlussber_ ZIM Harfe_Final_kurz_P.pdf
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Metadaten
Autoren/innen:Uwe Beck, A. Krüger
Dokumenttyp:Forschungsbericht
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Deutsch
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.7 Oberflächenmodifizierung und -messtechnik
Erste Seite:1
Letzte Seite:17
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:ALD-Abscheidungen; Haftfestigkeit; Laserellipsometrie; Plasma Vorbehandlung
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Analytical Sciences
Analytical Sciences / Qualitätssicherung
Material / Nanoskalige Materialien und deren Eigenschaften
Bemerkung:
Das Dokument unterliegt der Vertraulichkeit und kann nicht zugänglich gemacht werden -
The document is subject to confidentiality restrictions and cannot be made accessible -
Projektlaufzeit: 01.07.2015 – 30.06.2017-
Project runtime: 01.07.2015 – 30.06.2017
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:12.02.2020
Referierte Publikation:Nein