Constraints on the effective electron energy spectrum in backscatter Kikuchi diffraction

  • Electron backscatter diffraction (EBSD) is a technique to obtain microcrystallographic information from materials by collecting large-angle Kikuchi patterns in the scanning electron microscope (SEM). An important fundamental question concerns the scattering-angle dependent electron energy distribution, which is relevant for the formation of the Kikuchi diffraction patterns. Here we review the existing experimental data and explore the effective energy spectrum that is operative in the generation of backscatter Kikuchi patterns from silicon. We use a full pattern comparison of experimental data with dynamical electron diffraction simulations. Our energy-dependent cross-correlation based pattern matching approach establishes improved constraints on the effective Kikuchi pattern energy spectrum, which is relevant for high-resolution EBSD pattern simulations and their applications.

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Metadaten
Autoren/innen:Gert Nolze, A. Winkelmann, T.B. Britton
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):PHYSICAL REVIEW B
Jahr der Erstveröffentlichung:2019
Organisationseinheit der BAM:5 Werkstofftechnik
5 Werkstofftechnik / 5.1 Materialographie, Fraktographie und Alterung technischer Werkstoffe
Jahrgang/Band:99
Ausgabe/Heft:6
Erste Seite:064115, 1
Letzte Seite:13
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:EBSD; Electron energy; Energy distribution; Kikuchi pattern; Simulation
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
Material / Materialien und Stoffe
URL:http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000459933600002
ISSN:2469-9950
ISSN:2469-9969
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:29.03.2019
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:29.03.2019