Neuartige, räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie

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Autoren/innen:Mathias Senoner, Mario Sahre, Heidemarie Rooch, Wolfgang Unger
Persönliche Herausgeber/innen:A. Weckenmann
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Jahr der Erstveröffentlichung:2011
Herausgeber (Institution):Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Verlag:Shaker Verlag GmbH
Erste Seite:116
Letzte Seite:129
Freie Schlagwörter:MOVPE; Rasterkraftmikroskopie; Referenzmaterial; Schichtstapel; Selektives Ätzen; Spitzencharakterisierer; TEM
Veranstaltung:Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Veranstaltungsort:Erlangen, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2010-10-06
Enddatum der Veranstaltung:2010-10-07
ISSN:0945-0769
ISBN:978-3-8440-0358-1
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein