TY - RPRT A1 - Beck, Uwe A1 - Fritz, Thomas A1 - Gamer, Nadja A1 - Wirth, Thomas T1 - VAMAS - Versailles Project on Advanced Materials and Standards N2 - Glühentladung optischer Ausstrahlungsspektroskopie (GDOES) wurde ursprünglich für die elementare Analyse von Größenmaterialien entwickelt. Mehrere Gruppen führten diese Methode zur Analyse von Anstrichen, Laienstapeln und dünnen Filmen durch. In den frühen Neunzigern wurde eine ISO-TC 201-Arbeitsgruppe gegründet, um Normen für alle Formen der Glühentladungsspektroskopie (GDS) zu entwickeln und die Fähigkeiten der Oberflächenchemikalien-Analyse zu beurteilen, insbesondere für die Tiefe von gestuften Systemen. Die Quantifizierung von Tiefenprofilen, d.h. die Umwandlung von Intensitäts-Zeit- Profilen in Konzentrierungs-Tiefen-Profile ist für dc-mode entwickelt worden. 1997 wurde ein VAMAS TWA 2 Vorschlag für ein Referenzanstrich für GD-OES Tiefe gemacht. Entsprechend dem VAMAS Beurteilungsverfahren wurde dieser Vorschlag 1998 mit einigen geringfügigen Änderungen genehmigt. T3 - BAM Forschungsberichtreihe - 242 PY - 2001 U6 - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:kobv:b43-2083 SN - 978-3-89701-713-X SN - 0938-5533 VL - 242 SP - 1 EP - 64 PB - Wirtschaftsverlag NW CY - Bremerhaven AN - OPUS4-208 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -