TY - THES A1 - Gemeinert, Marion T1 - Über LTCC-Werkstoffe aus dem Stoffsystem CaO - La2O3 - Al2O3 - B2O3 N2 - Glaskeramische Komposite, deren Herstellung von Glas- und kristallinen Pulvern ausgeht, bieten vielfältige Möglichkeiten, Werkstoffeigenschaften, wie z.B. Sinterverhalten, thermische Dehnung, mechanische Eigenschaften, chemische Beständigkeit, dielektrische Eigenschaften und Oberflächenqualität für spezielle Anwendungszwecke gezielt einzustellen. Glaskeramische Kompositpulver können zu Folien verarbeitet werden, aus denen mittels der LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics)- Technologie keramische Multilayer hergestellt werden, die insbesondere für das Electronic Packaging von Mikrosystemen eingesetzt werden. Problematisch ist die beim freien Sintern der LTCC-Multilayer auftretende laterale Schwindung, die von relativ hohen Schwindungstoleranzen begleitet ist. Zur Vermeidung der lateralen Schwindung werden Zero Shrinkage-Techniken eingesetzt. Eine neue Möglichkeit Zero Shrinkage beim Sintern von LTCC-Multilayern zu erreichen, besteht in der Anwendung eines self-constrained Laminates. Hierbei wird ein Multilayer eingesetzt, der aus zwei unterschiedlichen Folienarten für innere und äußere Lagen mit deutlich verschiedenen Sintertemperaturen (ΔT > 50 K) aufgebaut wird. Die Entwicklung von LTCC -Werkstoffen, die als innere Lagen eines self-constrained Laminates zur Verringerung der lateralen Sinterschwindung auf nahezu Null eingesetzt werden können, war Gegenstand der vorliegenden Arbeit. Es wurden hierfür LTCC - Werkstoffe aus dem Stoffsystem CaOLa2O3-Al2O3-B2O3 untersucht, die bei Temperaturen unterhalb 800 °C dicht gesintert werden können. Ausgehend von der Entwicklung geeigneter Gläser auf der Basis von Calciumlanthanborat- sowie Calciumlanthanalumoboratgläsern wurden glaskeramische Komposite unter Zusatz von Korundpulver hergestellt. Die Komposite kristallisieren während des Brennprozesses nahezu vollständig. Aus der Glasphase kristallisiert Lanthanborat aus und aufgrund der festkörperchemischen Reaktion der calciumboratreichen Restglasphase mit dem Korund bilden sich vor allem Calciumalumoborat bzw. Calciumalumoboratoxid. Die Anteile an neuen Phasen bestimmen die thermischen und dielektrischen Eigenschaften der Werkstoffe. Die wichtigsten der sich bildenden kristallinen Phasen der Komposite, Lanthanborat und Calciumalumoboratoxid wurden separat hergestellt und charakterisiert. Das Sinter- und Kristallisationsverhalten sowie die thermischen und dielektrischen Eigenschaften der glaskeramischen Komposite wurden in Abhängigkeit von den entwickelten Gläsern, dem Volumenverhältnis von Glas- und kristalliner Komponente im Kompositpulver und der Brenntemperatur untersucht. Die entwickelten LTCC-Werkstoffe wurden bzgl. ihrer thermischen Eigenschaften an einen zuvor ausgewählten LTCC-Werkstoff für die äußeren Lagen eines self-constrained Laminates angepasst. Erzielt wurden die Eigenschaftswerte: TEC: ca. 5 x 10-6/K, εr: ca. 7 und tan δ: ≤ 1 x 10-3. Zur Überprüfung der Anwendbarkeit wurde der entwickelte LTCC- Werkstoff als innere Lagen in einem LTCC-Multilayer verarbeitet. Dadurch konnte die laterale Schwindung des Multilayers beim Sintern auf < 0,4 % verringert werden. N2 - Glass ceramic composites made of glassy and crystalline powders offer numerous possibilities for modifying material’s properties e.g. sintering behaviour, thermal expansion coefficient, mechanical behaviour, chemical durability, dielectric properties and surface quality for special use. Glass ceramic composite powders can be used for the production of ceramic green tapes which are processed by LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics)- technology to form ceramic multilayers for electronic packaging in microsystems. During free sintering of LTCC-multilayers a lateral shrinkage occurs which is connected with a comparatively high shrinkage tolerance. Different sintering technologies are used to avoid the lateral shrinkage. A new possibility to achieve a zero lateral shrinkage is given by use of a self-constrained laminate. Therefore a multilayer is produced of two different materials for inner and outer layers, showing different sintering temperatures (ΔT > 50 K). Object of this dissertation was the development of LTCC-materials, which can be used for inner layers of a self-constrained laminate to reduce the lateral shrinkage nearly to zero. Therefore LTCC-materials in the field of CaO-La2O3-Al2O3-B2O3, which can be sintered below 800 °C, were investigated. Starting from the development of adapted glasses based on calciumlanthaniumborate- and calciumlanthaniumalumoborate glasses glass ceramic composites were produced by the addition of corundum powder. The composites crystallize during the sintering process almost completely. Lanthanumborate crystallizes from the glassy phase and calciumalumoborate and calciumalumoboratoxide respectively is formed by a chemical solid state reaction of the residual glassy phase, which is enriched by calciumborate, and the corundum. The proportional relation of the new crystalline phases determines the thermal and dielectric properties of the material. The most important formed new crystalline phases lanthanumborate and calciumalumoboratoxide were prepared and characterized separately. The sintering and crystallisation behaviour as well as the thermal and dielectric properties of the glass ceramic composites were investigated in dependence of the developed glasses, the volume relation of glassy and crystalline components of the composite powder and the sintering temperature. The developed LTCC-materials were adapted to a chosen material for the outer layers of a selfconstrained laminate referring to their thermal properties (thermal expansion coefficient: ca 5 x 10-6/K, permittivity: ca 7, dielectric loss factor: ≤ 1 x 10-3). To control the suitability of the developed material it was used for the inner layers of a LTCCmultilayer. The lateral shrinkage of the multilayer during sintering was reduced to < 0,4 %. T3 - BAM Dissertationsreihe - 43 KW - LTCC KW - Glaskeramik KW - Keramikfolie KW - Hochleistungskeramik KW - Mehrschichtsystem PY - 2009 UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:b43-1154 SN - 978-3-9812354-6-3 SN - 1613-4249 VL - 43 SP - 1 EP - 139 PB - Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) CY - Berlin AN - OPUS4-115 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -