TY - RPRT A1 - Beck, Uwe A1 - Krüger, A. T1 - Abschlussbericht für das Kooperationsprojekt zwischen Unternehmen und Forschungseinrichtungen (KF) - Nanoskalige Haftvermittler zur Erhöhung der Haft- bzw. Klebfestigkeit kritischer Verbundsysteme unter Verwendung von ALD-Hybridprozessen N2 - Aufzählung der wichtigsten wissenschaftlich-technischen und anderer wesentlicher Ergebnisse • ALD Abscheidungen auf Polymeren (PE, PP, PTFE) unter Atmosphärendruck und im Vakuum mit Ozon als Oxidationsmittel wurden durchgeführt: - Mit Variation der Schichtdicke - Mit Variation der Zykluszeit - Mit und ohne Ozon Vorbehandlung der Oberfläche • ALD Abscheidungen auf (PE, PP, PTFE) in Vakuum mit O2- und H2-Plasma Vorbehandlung wurden durchgeführt. - Mit Variation der Schichtdicke - Mit Variation der Zykluszeit - Mit und ohne Plasma Vorbehandlung der Oberfläche • Die ALD Prozesse wurden mit in situ Laserellipsometrie untersucht. • Die ALD Schichten wurden für die Haftfestigkeit bei der BAM ausgewerte KW - ALD-Abscheidungen KW - Plasma Vorbehandlung KW - Laserellipsometrie KW - Haftfestigkeit PY - 2017 N1 - Das Dokument unterliegt der Vertraulichkeit und kann nicht zugänglich gemacht werden - The document is subject to confidentiality restrictions and cannot be made accessible - Projektlaufzeit: 01.07.2015-30.06.2017 - Project runtime: 01.07.2015-30.06.2017 SP - 1 EP - 17 AN - OPUS4-50386 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -