TY - CONF A1 - Beck, Uwe A1 - Fischer, Daniel T1 - Abschlusspräsentation zum Unterauftrag des BMWi Projekts ARGUS N2 - Im Rahmen eines BMWi Projekts der Fa. Innovent Jena, bei dem ein neuartiger optischer Sensor zur Bewertung der Oberflächenqualität und Reinheit von optischen Gläsern im Fokus stand, wurden die abbildende Ellipsometrie, die IR-Mikroskopie und die Weißlichtinterferenzmikroskopie als Referenzverfahren herangezogen. Mittels Brewster-Winkelmessungen konnten „Wolkenstrukturen“ identifiziert werden, die bei nachfolgenden Beschichtungsprozessen zu Schichtdefekten führen können. Außerdem wurden mittels Ellipsometrie Änderungen im Brechungsindex der Floatgläser (Luft- bzw. Zinnseite) nachgewiesen. Topographie Oberflächenmerkmale wie Welligkeit, Rauheit und Kreuzrillen konnten mittels Weißlichtinterferenzmikroskopie bzw. abbildender Ellipsometrie identifiziert werden. T2 - Projektverteidigung: Abschlusspräsentation zum Unterauftrag ARGUS, 14.12.2017, Jena, Innovent CY - Jena, Germany DA - 14.12.2017 KW - Glasoberflächen KW - Imaging Ellipsometrie KW - Verunreinigungen KW - Fehlstellen KW - Weißlichtinterferenzmikroskopie KW - Topographie PY - 2017 AN - OPUS4-50439 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -