TY - CONF A1 - Beck, Uwe A1 - Hertwig, Andreas T1 - Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie N2 - Der Vortrag widmet sich dem „Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie“ und beschreibt die experimentellen Eckdaten, die Ellipsometrie als Messmethode am Beispiel DLC auf Stahl, Proben vs. n-k Ebene vs. Ergebnisse des Ringversuches, messtechnische Bewertung des Ringversuches und normative Bewertung des Ringversuches sowie Schlussfolgerungen. T2 - 9. Sitzung DIN NA 062-01-64 „Kohlenstoffschichten“ CY - Berlin, Deutschland DA - 09.05.2016 KW - Amorphe Kohlenstoffschichten KW - Optische Konstanten KW - Ellipsometrie KW - Klassifizierungssystem PY - 2016 AN - OPUS4-38041 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -