TY - CONF A1 - Beck, Uwe A1 - Hertwig, Andreas A1 - Othake, N. A1 - Hiratsuka, M. T1 - Ellipsometrische Klassifizierung von Kohlenstoffschichten N2 - Der Vortrag widmet sich der „ELLIPSOMETRISCHE KLASSIFIZIERUNG VON KOHLENSTOFFSCHICHTEN“ und beschreibt die Punkte: 1. Anwendungen Kohlenstoffschichten–Carbon–based films (DLC) aus dem Vortrag N. Ohtakeet. al. (ISO TC 107, Tokyo 2017),2. Präparation der Kohlenstoffschichten für ISO TC 107 Ringversuch aus Vortrag M. Hiratsuka et. al. (ISO TC 107, Tokyo 2017), 3. Ellipsometrische Charakterisierung von Kohlenstoffschichten, Ergebnisse des Ringversuchs (ISO TC 107, Tokyo 2017) Vortrag Beck et. al. und 4.Deutsche Normungsaktivitäten national/international zur Ellipsometrie DIN NA 062-01-061 (DIN 50989-1)/TC 107 (PWI DE)“ im Einzelnen. T2 - Netzwerksymposium “schützen und Veredeln von Oberflächen”, Wildau CY - TH Wildau, Germany DA - 01.03.2018 KW - Anwendung von Kohlenstoffschichten KW - Klassifizierung von Kohlenstoffschichten KW - Ringversuch Ellipsometrie KW - Normung Ellipsometrie PY - 2018 AN - OPUS4-44340 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -