TY - CONF A1 - Beck, Uwe A1 - Unger, Wolfgang A1 - Hodoroaba, Vasile-Dan A1 - Griepentrog, Michael A1 - Hertwig, Andreas T1 - Herbstsitzung Plasma Germany 2017, Frohnhausen N2 - Der Vortrag widmet sich den Normenentwicklungen auf den Gebieten der • Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie • Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse • Prüfverfahren (zu Nanotechnologien) • Hardness Testing • Oberflächenmesstechnik im Mikro- und Nanobereich • Kohlenstoff- und keramische Hartstoffschichten • Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme • Dünne Schichten für die Optik • Coating Qualification Tests T2 - FA_NORMUNG_PLASMA_GERMANY CY - Frohnhausen, Germany DA - 08.11.2017 KW - Normen KW - Oberflächentechnik KW - Oberflächenanalytik KW - Oberflächenmesstechnik PY - 2017 AN - OPUS4-42821 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -