TY - GEN A1 - Zimmermann, J. A1 - Sawodny, O. A1 - Lyda, W. A1 - Burla, A. A1 - Osten, W. A1 - Eigenbrod, H. A1 - Westkämper, E. A1 - Shaw, L. A1 - Weckenmann, A. A1 - Herffurth, T. A1 - Duparré, A. A1 - Tünnermann, A. A1 - Staude, Andreas A1 - Goebbels, Jürgen ED - Weckenmann, A. T1 - Registrierung multimodaler Messungen am Beispiel eines MEMS T2 - Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen N2 - Die Produktion von elektronischen, optischen und elektro-mechanischen Mikro- und Nanosystemen stellt hohe Anforderungen an die Messtechnik, um die Fertigungsprozesse zu optimieren und die Qualität zu prüfen. Existierende Messverfahren unterliegen Beschränkungen hinsichtlich des Auflösungsvermögens, der Messfeldgröße und des Ergebnisses der Messung. Der kombinierte Einsatz von Sensoren mit unterschiedlichen Fähigkeiten in den Auflösungsstufen mittels einer intelligenten Messstrategie ermöglicht eine effiziente Prüfung. Neben den geeigneten Prüfstrategien werden auch Methoden zur Fusion und Auswertung der Daten von Sensoren mit unterschiedlichen Auflösungsfähigkeiten benötigt. Datenfusion bezeichnet dabei das Zusammenfügen verschiedener Messungen, um entweder unterschiedliche Eigenschaften eines Messobjekts in einem gemeinsamen Koordinatensystem angeben zu können oder um aus verschiedenen Messungen derselben Eigenschaft des Messobjekts einen Datensatz von höherer Qualität gegenüber den einzelnen Datensätzen zu erhalten. Voraussetzung für die Datenfusion ist Registrierung, die eine Überführung von Messdaten unterschiedlicher Messfelder oder Messmittel in ein gemeinsames Koordinatensystem darstellt und Thema dieses Beitrages ist. T2 - Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen CY - Erlangen, Deutschland DA - 06.11.2010 PY - 2011 SN - 978-3-8440-0358-1 SN - 0945-0769 SP - 173 EP - 187 PB - Shaker Verlag GmbH AN - OPUS4-24876 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -