TY - GEN A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Sümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - About the calibration of thickness standards on the nanometer scale T2 - 3rd International EUSPEN conference ; 3rd International conference. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology ; 4th General meeting. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology CY - Eindhoven, The Netherlands DA - 2002-05-26 PY - 2002 SN - 90-386-2883-8 SP - 1 EP - 5 CY - Eindhoven AN - OPUS4-2283 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Hasche, K. A1 - Herrmann, K. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Krumrey, M. A1 - Ulm, G. A1 - Ade, G. A1 - Pohlenz, F. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Schädlich, S. A1 - Frank, W. A1 - Hirsch, D. A1 - Schindler, A. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche N2 - Nanotechnologien werden gegenwärtig als leistungsfähige Oberflächentechniken in erheblichem Umfange industriell genutzt. Dabei spielen dünne Schichten und deren Kenndaten eine wesentliche Rolle, z.B. als Röntgenspiegel oder optische und magnetooptische Datenträger. Die Schichtdicke zählt hierbei zu den technologisch wichtigen Parametern. Abgeleitet von Anwenderinteressen, werden für die Röntgenreflektometrie (XRR bzw. GIXR), Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EPMA) und Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) einerseits und die Ellipsometrie andererseits zugeschnittene Schichtdickenmaßverkörperungen (SDM) entwickelt, gefertigt und untersucht. Das Ziel ist die Bereitstellung praxistauglicher, kalibrierter SDM, im weiteren Schichtdickennormale (SDN) genannt. SDN sind Maßverkörperungen, für die der Schichtdickenwert mit einer definierten Messunsicherheit bekannt und auf ein metrologisch anerkanntes Längennormal zurückgeführt ist. Berichtet wird über die Herstellung und messtechnische Charakterisierung der beiden spezifischen Varianten von Maßverkörperungen. T2 - 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau ; Herbstkonferenz der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft ; 6. Workshop Multimedia für Bildung und Wirtschaft CY - Ilmenau, Deutschland DA - 2002-09-23 PY - 2002 UR - http://publica.fraunhofer.de/documents/N-14872.html VL - 47 SP - 568 EP - 569 PB - Techn. Univ. CY - Ilmenau AN - OPUS4-2284 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Koenders, L. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Beck, Uwe A1 - Procop, Mathias T1 - Über die metrologische Charakterisierung von Schichtdicken Standards im Nanometerbereich T2 - 12th Applied Surface Analysis Workshop ; AOFA 12 CY - --- DA - 2002-09-15 PY - 2002 AN - OPUS4-2285 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - GEN A1 - Scholze, F. A1 - Procop, Mathias T1 - High-accuracy calibration of energy-dispersive detectors using undispersed and monochromatized radiation PY - 2004 UR - http://www.helmholtz-berlin.de/media/media/oea/web/pr_webseite/druckschriften/berichte/bessy/annualreport2003.pdf#page=14 SN - 0179-4159 SP - 14 EP - 16 PB - Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft für Synchrotronstrahlung CY - Berlin AN - OPUS4-4188 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS with new features T2 - EMAS (European Microbeam Analysis Society) 2003 / 8th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis CY - Chiclana de la Frontera, Spain DA - 2003-05-18 PY - 2003 AN - OPUS4-5027 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Measurement of X-ray emission rates for K-lines T2 - EMAS (European Microbeam Analysis Society) 2003 / 8th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis CY - Chiclana de la Frontera, Spain DA - 2003-05-18 PY - 2003 AN - OPUS4-5028 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Messung von absoluten Röntgenemissionsausbeuten für K-linien bei Elektronenanregung T2 - XRF-Kolloquium der TU Berlin CY - Berlin, Germany DA - 2003-06-24 PY - 2003 AN - OPUS4-5029 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS with new features T2 - 10th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA '03) CY - Berlin, Germany DA - 2003-09-05 PY - 2003 AN - OPUS4-5030 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Measurement of X-ray emission rates for K-lines T2 - 10th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA '03) CY - Berlin, Germany DA - 2003-09-05 PY - 2003 AN - OPUS4-5031 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Scholze, F. A1 - Procop, Mathias T1 - Detection efficiency of energy-dispersive detectors with low-energy windows N2 - Energy dispersive X-ray spectrometry offers the opportunity for fast composition determination of specimens by X-ray fluorescence or electron probe microanalysis. For fundamental parameter based quantification, the knowledge of the detection efficiency of the spectrometer is essential. At low energies the efficiency is strongly influenced by X-ray absorption in the radiation entrance window. State-of-the-art windows consist of polymer foil containing C, N, and O, coated with Al and in some cases with a special B compound. The foil is supported by a Si grid to withstand the atmosphere pressure. The absorption of all these components must be known to describe the detection efficiency. The transmittance of three types of widely used commercial windows has been measured. Transmittance curves have been fitted by analytical expressions using tabulated mass absorption coefficients. Because tabulated mass absorption coefficients do not consider near edge effects, there are strong deviations between measured and calculated transmittance below 0.6 keV. It is proposed to model the spectrometer efficiency by the measured window transmittance and calculated absorptions from front contact and possible contaminations. This reduces the number of unknown parameters drastically. PY - 2005 DO - https://doi.org/10.1002/xrs.859 SN - 0049-8246 VL - 34 IS - 6 SP - 473 EP - 476 PB - Wiley CY - Chichester AN - OPUS4-11936 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Standard-free quantification in EPMA T2 - CCQM Surface Analysis Working Group Meeting 2006 CY - Sèvres, France DA - 2006-04-05 PY - 2006 AN - OPUS4-12306 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS - ein Programmpaket in MATLAB zur Berechnung von Röntgenspektren und Spektrometereigenschaften T2 - Forschungsseminar "Ausgewählte analytische Methoden der Physik" am Institut für Atomphysik der Technischen Universität Berlin CY - Berlin, Germany DA - 2006-05-30 PY - 2006 AN - OPUS4-12413 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Röntgenmikrofluoreszenzanalyse im REM mit dem Thermo NSS300 und der Röntgenquelle iMOXS T2 - Anwendertreffen Mikroanalyse CY - Berlin, Germany DA - 2006-10-17 PY - 2006 AN - OPUS4-13191 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Anforderungen an ein modernes EDX-System T2 - Kolloquium "Neue Entwicklungen in der EDX-Analyse am Rasterelektronenmikroskop", Bruker Microanalysis GmbH, Berlin-Adlershof CY - Berlin, Germany DA - 2007-06-11 PY - 2007 AN - OPUS4-14953 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Charakterisierung energiedispersiver Röntgenspektrometer durch Effizienz und Antwortfunktion T2 - Forschungsseminar "Moderne analytische Methoden der Physik", Technische Universität Berlin, Institut für Optik und atomare Physik CY - Berlin, Germany DA - 2007-06-05 PY - 2007 AN - OPUS4-14954 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Laborpraxis mit dem IMOXS T2 - 1. EDAX Partikelanalyse und iMOXS Anwendertreffen CY - Wiesbaden, Germany DA - 2007-11-29 PY - 2007 AN - OPUS4-16169 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Calibration of the detection efficiency of energy dispersive X-ray spectrometers for absolute intensity measurements and to establish a basis for a more rigorous quantitation procedure T2 - Microscopy and Microanalysis 2008 CY - Albuquerque, NM, USA DA - 2008-08-03 PY - 2008 AN - OPUS4-16589 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Scholze, F. T1 - Measurement of detection efficiency and response functions for an Si(Li) x-ray spectrometer in the range 0.1-5 keV N2 - Efficiency and response functions were determined for a modern commercial energy-dispersive x-ray spectrometer in the photon energy range 0.1-5 keV using dispersed and undispersed synchrotron radiation. The spectrometer was equipped with an Si(Li) detector crystal, a thin-film window and a digital pulse processor. Monochromatized synchrotron radiation from the PTB VUV radiometry beamline at the electron storage ring BESSY was used for the absolute determination of the detection efficiency with a typical relative uncertainty of 1-2% in the photon energy range 0.1-1.5 keV by direct comparison with calibrated photodiodes. At higher photon energies, the efficiency was found by comparison of the measured and calculated undispersed synchrotron radiation spectrum. The absolute intensity of the synchrotron radiation was known with a relative uncertainty of less than 1%. In the overlapping region, the results from the two independent experiments are in full agreement. The energy dependence of the measured efficiency can be explained only with a detector model assuming that there is no dead layer. A simple model for the effect of incomplete charge collection (ICC) was applied to describe the measured response functions. Consequences of the ICC such as broadening and shift of low-energy peaks and redistribution of counts around 1.84 keV are explained with the model, in accordance with the experimental results. PY - 2001 DO - https://doi.org/10.1002/xrs.472 SN - 0049-8246 VL - 30 IS - 2 SP - 69 EP - 76 PB - Wiley CY - Chichester AN - OPUS4-1120 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm T2 - DVG Jahrestagung 2002 CY - Magdeburg, Germany DA - 2002-06-17 PY - 2002 SP - 1 EP - 9 PB - Deutsche Vakuum-Gesellschaft CY - Kaiserslautern AN - OPUS4-1936 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - Abschätzung der Dicke absorbierender Schichten eines EDX-Detektorsystems mit Hilfe von Bremsstrahlungsspektren T2 - 29. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO) CY - Münster, Deutschland DA - 1996-10-08 KW - Oberflächenanalyse KW - Schichtdickenmessung KW - EDX-Detektor KW - Bremsstrahlungspektrum KW - X-ray spectrometry KW - X-ray detector KW - Si(Li) detector PY - 1996 SN - 0340-3815 VL - 29 SP - 47 EP - 50 PB - Ehrenwerth CY - Münster, Westf. AN - OPUS4-641 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Höpner, A. A1 - Seitz, H. A1 - Rechenberg, I. A1 - Bugge, C. A1 - Procop, Mathias A1 - Scheerschmidt, E. A1 - Queisser, A. T1 - TEM Characterization of the Interface Quality of MOVPE Grown Strained InGaAs/GaAs Heterostructures KW - TEM KW - Laser PY - 1995 SN - 1862-6300 SN - 0031-8965 VL - 150 IS - 427 SP - 427 EP - 437 PB - Wiley-VCH CY - Berlin AN - OPUS4-598 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -