TY - GEN A1 - Unger, Wolfgang A1 - Oran, Umut A1 - Senoner, Mathias A1 - Schmidt, M. T1 - Chemische Charakterisierung von mikro- und nanotechnologischen Bauteilen: Verfahrensentwicklung und Referenzmaterialien T2 - Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering T2 - VDI/VDE-Tagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering" CY - Erlangen, Germany DA - 2006-11-29 KW - Referenzmaterial KW - Mikrofluidik KW - Nanoanalytik PY - 2006 N1 - Serientitel: VDI-Berichte – Series title: VDI-Berichte IS - 1950 SP - 197 EP - 206 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf AN - OPUS4-14110 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -