TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - Abschätzung der Dicke absorbierender Schichten eines EDX-Detektorsystems mit Hilfe von Bremsstrahlungsspektren T2 - 29. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO) CY - Münster, Deutschland DA - 1996-10-08 KW - Oberflächenanalyse KW - Schichtdickenmessung KW - EDX-Detektor KW - Bremsstrahlungspektrum KW - X-ray spectrometry KW - X-ray detector KW - Si(Li) detector PY - 1996 SN - 0340-3815 VL - 29 SP - 47 EP - 50 PB - Ehrenwerth CY - Münster, Westf. AN - OPUS4-641 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -