TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Computerprogramm zu Modellierung der Spektrometerantwortfunktion eines energiedispersiven Röntgenspektrometers T2 - Fachtagung Prozessnahe Röntgenanalytik (PRORA 2007) CY - Berlin, Germany DA - 2007-11-15 PY - 2007 AN - OPUS4-16935 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Hirsch, D. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm N2 - High-accuracy film thickness measurements in the range below 100 nm can be made by various complex methods like spectral ellipsometry (SE), scanning force microscopy (SFM), grazing incidence X-ray reflectometry (GIXR), or X-ray fluorescence analysis (XRF). The measurement results achieved with these methods are based on different interactions between the film and the probe. A key question in nanotechnology is how to achieve consistent results on a level of uncertainty below one nanometre with different techniques. Two different types of thickness standards are realised. Metal film standards for X-ray techniques in the thickness range 10 to 50 nm are calibrated by GIXR with monochromatised synchrotron radiation of 8048 eV. The results obtained at four different facilities show excellent agreement. SiO2 on Si standards for SE and SFM in the thickness range 6 to 1000 nm are calibrated by GIXR with monochromatised synchrotron radiation of 1841 eV and with a metrological SFM. Consistent results within the combined uncertainties are obtained with the two methods. Surfaces and interfaces of both types of standards are additionally investigated by transmission electron microscopy (TEM). PY - 2004 DO - https://doi.org/10.1007/s00339-003-2273-7 SN - 0947-8396 VL - 78 IS - 5 SP - 645 EP - 649 PB - Springer CY - Berlin AN - OPUS4-17195 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Modelling the response function of an EDS with a silicon detector T2 - European X-ray Spectroscopy Conference CY - Cavtat, Croatia DA - 2008-06-16 PY - 2008 AN - OPUS4-17602 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - About the calibration of thickness standards on the nanometer scale T2 - EUSPEN 2002 CY - Eindhoven, Netherlands DA - 2002-05-26 PY - 2002 AN - OPUS4-3259 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Abschätzung der Dicke absorbierender Schichten eines EDX-Detektorsystems mit Hilfe von Bremsstrahlungsspektren T2 - 29. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO) CY - Münster, Germany DA - 1996-10-08 PY - 1996 AN - OPUS4-3260 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Eine Mikrofokus-Röntgenquelle als Zusatz zum Raserelektronenmikroskop für die Röntgenflüoreszenzanalyse T2 - Fachtagung "PRORA 2003" CY - Berlin, Germany DA - 2003-04-03 PY - 2003 AN - OPUS4-4369 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Fehlermöglichkeiten bei der ESMA am REM/EDX T2 - Kundenschulung der Fa. Röntec CY - Strausberg, Germany DA - 2003-06-04 PY - 2003 AN - OPUS4-4370 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Film thickness standards for X-ray techniques and ellipsometry T2 - Workshop Metrology CY - Plzen, Czech Republic DA - 2002-10-20 PY - 2002 AN - OPUS4-4322 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Detection efficiency of energy dispersive detectors: high accuracy measurement and modelling T2 - European Conference on X-Ray Spectrometry CY - Alghero, Italy DA - 2004-06-06 PY - 2004 AN - OPUS4-4603 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Stand und Perspektiven der Materialanalyse mittels Röntgenspektroskopie am Rasterelektronenmikroskop T2 - Kolloquium des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologie (ZMN) CY - Ilmenau, Germany DA - 2004-03-31 PY - 2004 AN - OPUS4-4610 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Synchrotron Radiation for the Characterization of Energy Dispersive X-ray Spectrometers T2 - Microscopy and Microanalysis CY - Savannah, GA, USA DA - 2004-08-02 PY - 2004 AN - OPUS4-4612 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Qualitätssicherung in einem REM/EDX-Labor T2 - Workshop "Raster-Elektronen-Mikroskopie in der Mikroverbindungstechnik" des FhG-IZM CY - Berlin, Germany DA - 1999-10-27 PY - 1999 AN - OPUS4-6054 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Quantitative Analysis in EDS T2 - Short Course "Energy Dispersive X-ray Microanalysis" der DPG Konstanz CY - Konstanz, Germany DA - 1999-05-03 PY - 1999 AN - OPUS4-6034 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - RDXTOOLS - Computer Programmes for the Determination of Critical EDX System Parameters T2 - EMAS´99, 6th Workshop of the European Microanalysis Society CY - Konstanz, Germany DA - 1999-05-03 PY - 1999 AN - OPUS4-6077 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Aufbau und Funktionsweise von energiedispersiven Röntgenspektrometern T2 - 32. Kolloquium EDO CY - Saarbrücken, Germany DA - 2000-09-18 PY - 2000 AN - OPUS4-6121 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Einsatz des Röntec MultiMax in der Materialforschung und -prüfung T2 - Festkolloquium zum 10-jährigen Bestehen der Firma Röntec CY - Berlin, Germany DA - 2001-05-28 PY - 2001 AN - OPUS4-6153 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Erfahrungen mit STRATAGEM bei der Bestimmung von Metallschichtdicken im Nanometerbereich T2 - SAMx-Anwender-Treffen CY - Halle (Saale), Germany DA - 2001-07-02 PY - 2001 AN - OPUS4-6154 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Wie genau ist standardlose Elektronenstrahl-Mikroanalyse? T2 - Kolloquium "Ausgewählte analytische Methoden der Physik" - TU-Berlin, Institut für Atomare Physik und Fachdidaktik CY - Berlin, Germany DA - 2002-10-29 PY - 2002 AN - OPUS4-6248 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDX-Spektrometerüberprüfung an der BAM gemäß ISO 17025 T2 - ThermoNORAN Nutzertreffen CY - Marburg, Germany DA - 2002-11-05 PY - 2002 AN - OPUS4-6249 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Elektronenstrahl-Mikroanalyse T2 - Kolloquium "Ausgewählte analytische Methoden der Physik", TU-Berlin - Institut für Atomare Physik und Fachdidaktik CY - Berlin, Germany DA - 2001-12-11 PY - 2001 AN - OPUS4-6206 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Energiedispersive Röntgenspektrometrie und Qualitätssicherung T2 - BAM-Kolloquium "Rasterelektronenmikrosakopie unter variablem Kammerinnendruck" CY - Berlin, Germany DA - 2002-05-28 PY - 2002 AN - OPUS4-6213 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - How accurate your standardless EDS analysis really is? T2 - SCANDEM 2002 CY - Tampere, Finland DA - 2002-06-14 PY - 2002 AN - OPUS4-6214 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Schichtdickenbestimmung für Nanometer-Kalibriernormale mittels XRF T2 - 2. Seminar zur Nutzung des Wellenlängenschieber-Messplatzes bei BESSY II CY - Berlin, Germany DA - 2001-11-08 PY - 2001 AN - OPUS4-6163 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Schnelle Elementverteilungsanalysen mit dem RÖNTEC ColorSEM T2 - Kundenschulung der Fa. Röntec CY - Strausberg, Germany DA - 2003-06-04 PY - 2003 AN - OPUS4-6356 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Röntgenfluoreszenz am Rasterelektronenmikroskop - Vor- und Nachteile gegenüber der Elektronenstrahlmikroanalyse T2 - Kolloquium "Neue Analysenmethoden am Rasterelektronenmikroskop", BAM CY - Berlin, Germany DA - 2004-03-25 PY - 2004 AN - OPUS4-6425 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Röntgenfluoreszenz am Rasterelektronenmikroskop - Vor- und Nachteile gegenüber der Elektronenstrahlmikroanalyse T2 - Kolloquium "Neue Analysenmethoden am Rasterelektronenmikroskop", BAM CY - Berlin, Germany DA - 2004-03-04 PY - 2004 AN - OPUS4-6424 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS - Computer Programmes for the Determination of Critical EDX Spectrometer Parameters N2 - Quality assurance according to ISO or EN norms entails a periodical check of critical instrumental parameters. Not yet all commercial software purchased with instruments supports the related measurements and their fast evaluation. EDXTOOLS consist of a programme library which complements the existing software for electron excited energy dispersive X-ray spectrometry (EDS) in this respect. EDXTOOLS can be used to check the detection efficiency by the evaluation of the L/K intensity ratio in a copper or nickel spectrum or by the calculation of the thickness of absorbing detector layers from experiments, which can be performed on any scanning electron microscope. Moreover, measured spectra can be modified by the transmission curve of absorbing media to estimate their influence on the result of quantitative analysis. EDXTOOLS allow the determination of the signal to background ratio from an Fe-55 spectrum and the fitting of measured FWHM's of K-lines to find the resolution curve DE = Ö{DE 2el + DE 2det}. They are completed by the possibility of calculating EDX spectra for the K-lines of light elements and to compare the resulting spectra for different formulae, physical data tables, and detector parameters chosen for the calculation. EDXTOOLS are written in MATLAB®, a wide spread interpreter language. This has the advantage that the programmes are readable text files. A user can check each computational step and modify it. The installation of MATLAB® and its optimization toolbox is necessary to work with EDXTOOLS. KW - X-ray spectrometry KW - EDS KW - Quantitative analysis KW - Computer programmes PY - 2000 DO - https://doi.org/10.1007/s006040050104 SN - 0026-3672 SN - 1436-5073 VL - 132 IS - 2-4 SP - 527 EP - 530 PB - Springer CY - Wien AN - OPUS4-6837 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - Measurement of X-Ray Emission Efficiencies for K-Lines KW - X-ray spectrometry KW - X-ray emission KW - X-ray yield KW - Electron probe microanalysis KW - EMPA KW - Standardless analysis PY - 2004 DO - https://doi.org/10.1017/S1431927604040139 SN - 1431-9276 SN - 1435-8115 VL - 10 IS - 4 SP - 481 EP - 490 PB - Cambridge University Press CY - New York, NY AN - OPUS4-6838 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - RPRT A1 - Procop, Mathias T1 - Röntgenspektroskopie am Rasterelektronenmikroskop PY - 2001 SP - 1 EP - 26 AN - OPUS4-6834 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Wandel, K. A1 - Procop, Mathias A1 - Richter, U. A1 - Wolf, R. T1 - The influence of the storage time and the deposition of SiO2 on the properties of H2SO4 etched (In,Ga) As surface layers investigated by XPS and ellipsometry PY - 1993 SN - 0268-1242 SN - 1361-6641 VL - 8 SP - 1438 EP - 1444 PB - IOP Publ. CY - Bristol AN - OPUS4-7087 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - GEN A1 - Gruska, B. A1 - Wandel, K. A1 - Procop, Mathias ED - Lengeler, B. T1 - The InGaAs/SiO2 interface investigated by angle resolved XPS and ellipsometry T2 - 4th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (ICFSI) CY - Jülich, Germany DA - 1993-06-14 PY - 1993 SN - 981-021559-2 VL - 4 SP - 373 EP - 376 PB - World Scientific CY - Singapore AN - OPUS4-7088 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Röder, A. T1 - An interlaboratory comparison of energy dispersive X-ray microanalysis (EDX) of titanium and zirkonium nitrides N2 - The results of an interlaboratory comparison of energy dispersive X-ray microanalysis of TiN0.84 and ZrN were presented. The microprobe group of the German Physical Society (DPG) and the Federal Institute for Materials Research and Testing (BAM) had initiated the interlaboratory comparison. The primary aim was to test modern EDX systems equipped with ultrathin windows concerning the accuracy and reliability of the analysis of compounds containing light elements. The participants from 23 laboratories performed the analysis at different primary energies, in the standard-less mode as well as on the base of own standards, and considering Ti-K or Ti-L in case of TiN0.84. The results show a slight overestimation of the nitrogen content and a large standard deviation from the mean value. Reasons for the scattering of the results are discussed. T2 - 8th Symposium on Solid State Analysis DA - 1995-07-03 KW - Titanium nitride KW - Zirconium nitride KW - EDX KW - X-rays KW - Microanalysis PY - 1997 DO - https://doi.org/10.1007/BF01246159 SN - 0026-3672 SN - 1436-5073 VL - 125 IS - 1-4 SP - 33 EP - 39 PB - Springer CY - Wien AN - OPUS4-7089 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Hübner, Wolfgang A1 - Wäsche, Rolf A1 - Nieland, S. A1 - Ehrmann, O. T1 - Fast Elemental Mapping in Materials Science KW - Electron probe microanalysis KW - EPMA KW - Energy dispersive X-ray spectroscopy KW - EDS KW - Elemental mapping PY - 2002 UR - http://www.microscopy-analysis.com/sites/default/files/magazine_pdfs/mag%20179_2002_Jan_Procop_1.pdf SN - 0958-1952 IS - January SP - 5 EP - 6 PB - Rolston Gordon Comm. CY - Bookham, Surrey AN - OPUS4-7091 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - XPS data for sputter-cleaned In0.53Ga0.47As, GaAs, and InAs surfaces PY - 1992 UR - http://www.sciencedirect.com/science?_ob=PublicationURL&_tockey=%23TOC%235251%231992%23999409998%23276008%23FLP%23&_cdi=5251&_pubType=J&_auth=y&_acct=C000049503&_version=1&_urlVersion=0&_userid=963821&md5=dc56897f6b3c86cf4d7ea713dee69341 SN - 0368-2048 SN - 1873-2526 VL - 59 SP - R1 EP - R10 PB - Elsevier CY - Amsterdam AN - OPUS4-7092 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - Über Probleme bei der EDX-Analyse im Energiebereich unterhalb 1 keV T2 - 27. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO) CY - Saarbrücken, Deutschland DA - 1994-10-04 KW - X-ray spectrometry KW - EDX KW - X-ray analysis KW - Quantitative analysis PY - 1994 SN - 0340-3815 VL - 27 SP - 1 EP - 5 PB - Ehrenwerth CY - Münster, Westf. AN - OPUS4-7093 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias T1 - Energy dispersive X-ray microanalysis at low energies KW - Microanalysis KW - X-ray spectrometry KW - Energy dispersive spectrometry KW - EDS KW - X-ray detectors PY - 1998 SN - 0958-1952 IS - March SP - 9 EP - 10 PB - Rolston Gordon Comm. CY - Bookham, Surrey AN - OPUS4-7094 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Wandel, K. A1 - Verucchi, R. T1 - Ex-situ XPS-investigation of the interface between PE-CVD SiO2 and wet chemically etched MO-CVD epitaxial layers of In0.53Ga0.47As PY - 1995 SN - 0937-0633 VL - 353 SP - 647 EP - 654 PB - Springer CY - Berlin AN - OPUS4-7095 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Wandel, K. T1 - Photoelectron spectroscopic and ellipsometric investigation of In0.53Ga0.47As surfaces after wet chemical etching PY - 1993 SN - 0937-0633 VL - 364 SP - 23 EP - 28 PB - Springer CY - Berlin AN - OPUS4-7096 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Klein, A. A1 - Rechenberg, I. A1 - Krüger, D. T1 - AES Depth profiling of semiconducting multilayer structures using an ion beam bevelling technique PY - 1997 SN - 0937-0633 VL - 358 SP - 358 EP - 360 PB - Springer CY - Berlin AN - OPUS4-7097 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Klein, A. A1 - Rechenberg, I. A1 - Krüger, D. T1 - AES Depth Profiling of Semiconducting Epitaxial Layers with Thicknesses in the Nanometre Range Using an Ion Beam Bevelling Technique KW - AES KW - Depth profiling KW - Ion beam bevelling PY - 1997 SN - 0142-2421 SN - 1096-9918 VL - 25 SP - 458 EP - 463 PB - Wiley CY - Chichester AN - OPUS4-7098 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche T2 - Maschinenbau und Nanotechnik: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau CY - Ilmenau, Germany DA - 2002-09-23 PY - 2002 AN - OPUS4-3620 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Procop, Mathias A1 - Scholze, F. T1 - Synchrotron Radiation for the Characterization of Energy Dispersive X-ray Spectrometers KW - Röntgenspektroskopie KW - Detektoren KW - Elektronenstrahl-Mikroanalyse KW - ESMA KW - EPMA KW - Röntgenfluoreszenzanalyse KW - RFA KW - XRF PY - 2004 DO - https://doi.org/10.1017/S1431927604880152 SN - 1431-9276 SN - 1435-8115 VL - 10 IS - 2 SP - 98 EP - 99 PB - Cambridge University Press CY - New York, NY AN - OPUS4-3720 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - GEN A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Sümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - About the calibration of thickness standards on the nanometer scale T2 - 3rd International EUSPEN conference ; 3rd International conference. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology ; 4th General meeting. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology CY - Eindhoven, The Netherlands DA - 2002-05-26 PY - 2002 SN - 90-386-2883-8 SP - 1 EP - 5 CY - Eindhoven AN - OPUS4-2283 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Hasche, K. A1 - Herrmann, K. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Krumrey, M. A1 - Ulm, G. A1 - Ade, G. A1 - Pohlenz, F. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Schädlich, S. A1 - Frank, W. A1 - Hirsch, D. A1 - Schindler, A. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche N2 - Nanotechnologien werden gegenwärtig als leistungsfähige Oberflächentechniken in erheblichem Umfange industriell genutzt. Dabei spielen dünne Schichten und deren Kenndaten eine wesentliche Rolle, z.B. als Röntgenspiegel oder optische und magnetooptische Datenträger. Die Schichtdicke zählt hierbei zu den technologisch wichtigen Parametern. Abgeleitet von Anwenderinteressen, werden für die Röntgenreflektometrie (XRR bzw. GIXR), Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EPMA) und Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) einerseits und die Ellipsometrie andererseits zugeschnittene Schichtdickenmaßverkörperungen (SDM) entwickelt, gefertigt und untersucht. Das Ziel ist die Bereitstellung praxistauglicher, kalibrierter SDM, im weiteren Schichtdickennormale (SDN) genannt. SDN sind Maßverkörperungen, für die der Schichtdickenwert mit einer definierten Messunsicherheit bekannt und auf ein metrologisch anerkanntes Längennormal zurückgeführt ist. Berichtet wird über die Herstellung und messtechnische Charakterisierung der beiden spezifischen Varianten von Maßverkörperungen. T2 - 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau ; Herbstkonferenz der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft ; 6. Workshop Multimedia für Bildung und Wirtschaft CY - Ilmenau, Deutschland DA - 2002-09-23 PY - 2002 UR - http://publica.fraunhofer.de/documents/N-14872.html VL - 47 SP - 568 EP - 569 PB - Techn. Univ. CY - Ilmenau AN - OPUS4-2284 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Koenders, L. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Beck, Uwe A1 - Procop, Mathias T1 - Über die metrologische Charakterisierung von Schichtdicken Standards im Nanometerbereich T2 - 12th Applied Surface Analysis Workshop ; AOFA 12 CY - --- DA - 2002-09-15 PY - 2002 AN - OPUS4-2285 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - GEN A1 - Scholze, F. A1 - Procop, Mathias T1 - High-accuracy calibration of energy-dispersive detectors using undispersed and monochromatized radiation PY - 2004 UR - http://www.helmholtz-berlin.de/media/media/oea/web/pr_webseite/druckschriften/berichte/bessy/annualreport2003.pdf#page=14 SN - 0179-4159 SP - 14 EP - 16 PB - Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft für Synchrotronstrahlung CY - Berlin AN - OPUS4-4188 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS with new features T2 - EMAS (European Microbeam Analysis Society) 2003 / 8th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis CY - Chiclana de la Frontera, Spain DA - 2003-05-18 PY - 2003 AN - OPUS4-5027 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Measurement of X-ray emission rates for K-lines T2 - EMAS (European Microbeam Analysis Society) 2003 / 8th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis CY - Chiclana de la Frontera, Spain DA - 2003-05-18 PY - 2003 AN - OPUS4-5028 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Messung von absoluten Röntgenemissionsausbeuten für K-linien bei Elektronenanregung T2 - XRF-Kolloquium der TU Berlin CY - Berlin, Germany DA - 2003-06-24 PY - 2003 AN - OPUS4-5029 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDXTOOLS with new features T2 - 10th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA '03) CY - Berlin, Germany DA - 2003-09-05 PY - 2003 AN - OPUS4-5030 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Measurement of X-ray emission rates for K-lines T2 - 10th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA '03) CY - Berlin, Germany DA - 2003-09-05 PY - 2003 AN - OPUS4-5031 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -