TY - CONF A1 - Falkenhagen, Jana A1 - Krüger, Ralph-Peter A1 - Maier, Bärbel A1 - Much, Helmut A1 - Schulz, Günter T1 - Orthogonal two-dimensional chromatography of poly(ethylene oxid) adducts T2 - HPLC '96 CY - San Francisco, CA, USA DA - 1996-06-16 PY - 1996 CY - San Francisco AN - OPUS4-2221 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Hintz, M. A1 - Thust, H. A1 - Rabe, Torsten A1 - Schulz, Bärbel T1 - Neue Technologievarianten von LTCC durch druckunterstütztes Sintern KW - LTCC KW - Drucksintern KW - Metallisieren PY - 2004 SN - 0173-9913 SN - 0196-6219 VL - 18 IS - 1 SP - 174 EP - 179 PB - Göller CY - Baden-Baden AN - OPUS4-5339 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Heunisch, Andreas A1 - Schulz, Bärbel A1 - Rabe, Torsten T1 - LTCC antenna array with integrated liquid crystal phase shifter for satellite communication T2 - CICMT 2012 - 8th International conference on ceramic interconnect & ceramic microsystems technologies CY - Erfurt, Germany DA - 2012-04-16 KW - LTCC multilayer KW - Liquid crystals KW - Cavities KW - Pressure assisted sintering PY - 2012 SP - 000097 EP - 000102 (Session TP 1 / TP 15) AN - OPUS4-27404 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Fritz, Ulrich A1 - Gemeinert, Marion A1 - Güther, Wolfgang T1 - Keramik für Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik: Multilayer-Technologie T2 - Messe und Kongress Mikrosystemtechnik mSYS CY - Berlin, Germany DA - 2003-04-28 PY - 2003 AN - OPUS4-4751 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Gemeinert, Marion A1 - Rabe, Torsten A1 - Schiller, Wolfgang Arno T1 - Keramik für Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik: Mehrlagen-Folien-Technologie T2 - Sensor & Test 2003 CY - Nuremberg, Germany DA - 2003-05-13 PY - 2003 AN - OPUS4-4749 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Rabe, Torsten A1 - Kuchenbecker, Petra A1 - Schulz, Bärbel A1 - Schmidt, M. T1 - Hot Embossing: An Alternative Method to Produce Cavities in Ceramic Multilayer N2 - New applications of ceramic multilayers, for example, in biotechnology, sensor technology, and chemical micro-reaction technique, call for cavities with complex geometries. Hot embossing offers a promising, cost-effective way to generate these structures on the surfaces of green tapes or laminates. Cavities inside low-temperature co-fired ceramic multilayer were manufactured by a combination of hot embossing, lamination by a special adhesive technique, and zero shrinkage sintering. The edge and surface quality in the green state as well as the sintered multilayers with surface structures and cavities were extensively characterized by laser surface scanning, optical and ultrasound microscopy. Sintering shrinkage of hot-embossed laminates could be reduced in the x and y directions to less than 0.5%. KW - Keramische Multilayer KW - LTCC KW - Lamination KW - Heißprägen KW - Zero Shrinkage Sinterung PY - 2007 DO - https://doi.org/10.1111/j.1744-7402.2007.02117.x SN - 1546-542X SN - 1744-7402 VL - 4 IS - 1 SP - 38 EP - 46 PB - American Ceramic Soc. CY - Westerville, Ohio AN - OPUS4-16125 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Meine, Kerstin A1 - Rabe, Torsten T1 - Herstellung und Charakterisierung von LTCC-Multilayern mit großvolumigen Kavitäten T2 - Symp. HLK 2009 CY - Aachen, Germany DA - 2009-03-25 PY - 2009 AN - OPUS4-19690 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Gaebler, A. A1 - Moessinger, A. A1 - Goelden, F. A1 - Manabe, A. A1 - Goebel, M. A1 - Follmann, R. A1 - Koether, D. A1 - Modes, C. A1 - Kipka, A. A1 - Deckelmann, M. A1 - Rabe, Torsten A1 - Schulz, Bärbel A1 - Kuchenbecker, Petra A1 - Lapanik, A. A1 - Mueller, S. A1 - Haase, W. A1 - Jakoby, R. T1 - Liquid crystal-reconfigurable antenna concepts for space applications at microwave and millimeter waves N2 - Novel approaches of tunable devices for millimeter wave applications based on liquid crystal (LC) are presented. In the first part of the paper, a novel concept of a tunable LC phase shifter realized in Low Temperature Cofired Ceramics technology is shown while the second part of the paper deals with a tunable high-gain antenna based on an LC tunable reflectarray. The reflectarray features continuously beam scanning in between ±25°. Also first investigations on radiation hardness of LCs are carried out, indicating that LCs might be suitable for space applications. KW - Tunable antenna KW - Phase shifter KW - Liquid crystal KW - LTCC PY - 2009 UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:b43-194273 DO - https://doi.org/10.1155/2009/876989 SN - 1687-5877 VL - 2009 IS - Article ID 876989 SP - 1 EP - 7 PB - Hindawi Publishing Corporation CY - New York, NY, USA AN - OPUS4-19427 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Heunisch, Andreas A1 - Rabe, Torsten T1 - Hochpräzise Strukturierung von LTCC-Multilayern mittels Mikrofräsen T2 - DKG-Jahrestagung 2011 CY - Saarbrücken, Germany DA - 2011-03-28 PY - 2011 AN - OPUS4-23492 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Prasetiadi, A. E. A1 - Jost, M. A1 - Schulz, Bärbel A1 - Quibeldey, M. A1 - Rabe, Torsten A1 - Follmann, R. A1 - Jakoby, R. T1 - Liquid-Crystal-Based Amplitude Tuner Fabricated N2 - A 30GHz liquid-crystal-based amplitude tuner is proposed for the first time. The amplitude of a signal can be controlled by using the interference principle. An input signal is divided into a tunable liquid crystal phase shifter and a fixed transmission line. Later, the divided signals are combined together at the output port. The output amplitude depends on the phase difference between the tunable and the fixed line. The low temperature co-fired ceramic technology is utilized to fabricate the device. The measurement shows an attenuation range of 11 dB to 30 dB with a maximum biasing voltage of 100V. T2 - 12th European Microwave Integrated Circuits Conference CY - Nürnberg, Germany DA - 09.10.2017 KW - LTCC technology KW - Liquid crystals KW - RF components PY - 2017 SN - 978-2-87487-048-4 SN - 2325-0305 SP - 345 EP - 348 PB - IEEE AN - OPUS4-44752 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Prasetiadi, A .E. A1 - Jost, M. A1 - Schulz, Bärbel A1 - Quibelday, M. A1 - Rabe, Torsten A1 - Follmann, R. A1 - Jakoby, R. T1 - Liquid-Crystal-Based Amplitude Tuner Fabricated N2 - 30GHz liquid-crystal-based amplitude tuner is proposed for the first time. The amplitude of a signal can be controlled by using the interference principle. An input Signal is divided into a tunable liquid crystal phase shifter and a fixed transmission line. Later, the divided signals are combined together at the output port. The output amplitude depends on the phase difference between the tunable and the fixed line. The low temperature co-fired ceramic technology is utilized to fabricate the device. The measurement shows an attenuation range of 11 dB to 30 dB with a maximum biasing voltage of 100V. T2 - 47th European Microwave Conference CY - Nürnberg, Germany DA - 10.10.2017 KW - LTCC technology KW - Liquid crystals KW - RF components PY - 2017 SN - 978-2-87487-047-7 SN - 2325-0305 SP - 1085 EP - 1088 PB - IEEE AN - OPUS4-44753 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Jost, M. A1 - Strunck, S. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Wiens, A. A1 - Prasetiadi, A.E. A1 - Weickhmann, C. A1 - Schulz, Bärbel A1 - Quibeldey, M. A1 - Karabey, O.H. A1 - Rabe, Torsten A1 - Follmann, R. A1 - Koether, D. A1 - Jakoby, R. T1 - Continuously tuneable liquid crystal based stripline phase shifter realised in LTCC technology N2 - This work presents the design, fabrication and measurements of a low temperature cofired ceramic (LTCC) integrated liquid crystal (LC) phase shifter. The effective permittivity of the phase shifter and therefore its differential phase shift can be tuned continuously by orienting the LC directors with electric fields. The phase-shift demonstrator is designed for Ka-band frequencies around 30 GHz and represents a stripline filled with LC, embedded inside an LTCC multilayer structure, which provides a space-qualified and hermetically-sealed LC cavity within an RF-capable material system. The total length of the device is 37 mm while the phase shifting LC section has a length of 14.6 mm. At 30 GHz it exhibits a differential phase shift of 60° with an insertion loss around 6 dB, resulting in a figure of merit around 10°/dB. An advantage is that the insertion loss is nearly independent of the tuning state of the LC. The response time of the phase shifter, depending on the desired LC orientation, is between 62 ms and 37 s. T2 - EuMC 2015 - 45th European microwave conference CY - Paris, France DA - 07.09.2015 PY - 2015 SN - 978-2-87487-039-2 SP - 1260 EP - 1263 AN - OPUS4-35268 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Nikfalazar, M. A1 - Kohler, C. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Wiens, A. A1 - Zheng, Y. A1 - Schulz, Bärbel A1 - Mikolajek, M. A1 - Sohrabi, M. A1 - Rabe, Torsten A1 - Binder, R. A1 - Jakoby, R. T1 - LTCC phase shifters based on tunable ferroelectric composite thick films N2 - This paper presents, the investigation of tunable components based on LTCC technology, implementing ferroelectric tunable thick-film dielectric. The tunable loaded line phase shifters are fabricated with metal-insulator-metal (MIM) varactors to demonstrate the capabilities of this method for packaging of the tunable components. The MIM varactors consist of one tunable dielectric paste layer that is printed between two silver layers. The tunable ferroelectric paste is optimized for LTCC sintering temperature around 850°C. The phase shifters are fabricated in two different process. They were achieved a figure of merit of 24°/dB (phase shift 192°) at 3 GHz and 18°/dB (phase shift 98°) at 4.4 GHz by using seven unit cells that each unit cell consisting of two MIM varactors. KW - Ferroelectric KW - LTCC KW - Phase shifter KW - Fully printed component KW - BST PY - 2015 DO - https://doi.org/10.1515/freq-2015-0082 SN - 0016-1136 SN - 2191-6349 VL - 69 IS - 11-12 SP - 451 EP - 455 PB - De Gruyter CY - Berlin ; Boston, Mass. AN - OPUS4-34949 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Heunisch, Andreas A1 - Rabe, Torsten T1 - Herstellung formstabiler, vergrabener Kavitäten in LTCC-Multilayern mit modizfiziertem Laminierprozess T2 - Jahrestagung der Deutschen Keramischen Gesellschaft 2014 CY - Clausthal-Zellerfeld, Germany DA - 2014-03-24 PY - 2014 AN - OPUS4-30460 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Strunck, S. A1 - Gaebler, A. A1 - Karabey, O.H. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Schulz, Bärbel A1 - Rabe, Torsten A1 - Follmann, R. A1 - Kassner, J. A1 - Koether, D. A1 - Manabe, A. A1 - Jakoby, R. T1 - Reliability study of a tunable ka-band SIW-phase shifter based on liquid crystal in LTCC-technology N2 - A tunable substrate-integrated waveguide phase shifter using low-temperature co-fired ceramic (LTCC)-technology is presented in this paper. By changing the effective permittivity in the liquid crystal (LC)-filled waveguide, the differential phase can be tuned continuously. This is achieved by means of an analog signal applied to the electrodes, surrounding the LC. The design allows for precise tuning of the differential phase, which is proven with a Monte Carlo measurement resulting in phase errors of less than 3° at 28 GHz. Besides that, the ambient temperature dependency of the module is shown. The phase shifter has a high integration level and can be included into a complete and lightweight single-phased array antenna module. The phase shifter is realized with a high level of integration which is available through the multilayer process of the LTCC. It has a length of 50 and provides a differential phase shift of more than 360° at 28 GHz. The figure of merit for tunable phase shifters is >40°/dB. KW - Passive components and circuits KW - New and emerging technologies and materials PY - 2014 DO - https://doi.org/10.1017/S175907871400083X SN - 1759-0787 SN - 1759-0795 SP - 1 EP - 7 PB - Cambridge Univ. Press CY - Cambridge AN - OPUS4-31198 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - RPRT A1 - Rabe, Torsten A1 - Schulz, Bärbel A1 - Salehi, M. T1 - Alterungsbeständige keramische Federsensoren durch nanostrukturierte Werkstoffe, Präzisionsbearbeitung und hochdielektrische Nanosuspensionen N2 - Das Ziel des Gesamtvorhabens bestand darin, einen neuartigen kapazitiven Sensortyp zur hochauflösenden Bestimmung von Masse- und Gravitationskraftänderungen zu entwickeln. Bisherige Technologien nutzten dafür Federn oder Biegebalken aus gehärteten metallischen Werkstoffen, deren Alterungsverhalten die Präzision der Kräftemessung begrenzen. Grundprinzip des neuen Sensortyps ist es, eine auf die keramische Feder einwirkenden Änderung der Gewichts- oder Gravitationskraft durch eine Erfassung der Kapazitätsänderung am Sensor zu bestimmen. Dazu muss die durch Stauchung oder Dehnung der Feder entstehende Kapazitätsänderung mit hoher Auflösung reproduzierbar gemessen werden. Neben einem geeigneten Sensordesign waren Lösungen für Messsignalerfassung und -auswertung (Elektronik/Software) und die Systemintegration zu entwickeln. Die wichtigsten im Rahmen des BAM-Teilvorhabens erzielten Ergebnisse sind: - Ausgehend von kommerziellen High-end Keramikpulvern wurden durch Optimierung der keramischen Technologie nahezu porenfreie Al2O3, ZrO2 und Si3N4-Werkstoffe hergestellt und bezüglich Gefüge und Phasenbestand sowie mechanischen, thermischen und elektrischen Eigenschaften bewertet. Insbesondere die defektfreie Herstellung von nanostrukturierten Werkstoffen erforderte umfangreiche Variationen der Prozessparameter. Geeignete Werkstoffvarianten wurden für die Federherstellung ausgewählt. - Gemeinsam mit den Projektpartnern wurden Layoutvarianten für Schraubendruckfedern mit rechteckigem Windungsquerschnitt und für die Federeinbindung in das Sensorsystem erarbeitet. - 4 Federvarianten wurden an der BAM durch Hartbearbeitung von gesinterten Hohlzylindern umgesetzt. Fertigungstoleranzen von < ±10 µm für Windungsbreite, Windungshöhe und Windungsabstand und dünnfilm-kompatible innere Windungsflächen (Ra < 0,2 µm) wurden erreicht. Al2O3- und ZrO2-Federn können rissfrei und mit sehr guter Kantenqualität gefertigt werden, bei Si3N4-Federn konnten Kantenschädigungen nicht vollständig verhindert werden. - Mit der entwickelten Herstellungstechnologie können sowohl „harte“ als auch sehr „weiche“ Federn produziert werden. Federkonstanten zwischen 0,02 N/mm und 10 N/mm wurden realisiert. Die Reproduzierbarkeit der Federfertigung ist gegeben, innerhalb einer Charge unterschieden sich die Federkonstanten der gefertigten Federn nur um etwa +/- 1%. - An einem speziell entwickelten Versuchsstand wurden die Federn unter zyklischer Druckbelastung im Temperaturbereich von -20 bis +80 °C untersucht. An den Al2O3- und ZrO2-Federn wurden keine Schädigungen beobachtet, die Federkonstante wird durch die zyklische Langzeitbelastung nicht verändert. - Die Eignung der keramischen Federn für den Applikationsfall wurde mit zahlreichen Spannungs-Dehnungs-Experimenten, teilweise an speziell aufgebauten Versuchsapparaturen, untersucht. An Al2O3- und Si3N4-Federn wurde – wie erwartet – gefunden, dass die Federkonstante unabhängig von der Belastungsgeschwindigkeit ist und unter konstanter Last auch über lange Zeiträume keine Verformung auftritt. Überraschenderweise zeigten ZrO2 (TZP)-Federn ein zeitabhängiges Verhalten unter Last. Dieses ist besonders stark bei Y-stabilisierten Werkstoffvarianten ausgebildet, wurde aber mit Hochpräzisionsmessungen auch bei Ce-stabilsierten Werkstoffen nachgewiesen. Die Deformation ist reversibel, eine vollständige Relaxation wird erst nach Tagen erreicht. Aufgrund der zeitabhängigen Verformung können ZrO2 (TZP)-Federn, trotz ihrer hervorragenden Festigkeit und Bruchzähigkeit, nicht für die konzipierten Sensorfedern eingesetzt werden. - Das durch die Fa. Siegert TFT entwickelte Metallisierungs-Schichtsystem, bestehend aus aufgesputterten Ti-, Pt- und Au-Schichten verstärkt durch eine galvanisch aufgebrachte Au-Schicht, wurde an der BAM umfassend bewertet. Die Schichten sind untereinander und mit der Keramik weitgehend defektfrei verbunden, die lokale Schichtdicke schwankt jedoch bedingt durch Abschattungseffekte während der Beschichtungsvorgang. Es wurden Schichtwiderstände zwischen 50 und 90 Ohm und damit die Zielvorgabe des Projektes (< 100 Ohm) erreicht. In statischen und dynamischen Belastungstests wurden keine Veränderungen der Leitungswiderstände festgestellt. - Zur Erhöhung der Kapazität des Kondensators kann der Raum zwischen den Federwindungen statt mit Luft mit einer Flüssigkeit mit hoher Dielektrizitätskonstante gefüllt werden. Als geeignete Flüssigkeit wurde Propylencarbonat mit einer Dielektrizitätskonstante von 65, einem hohen Siedepunkt und einer geringen Viskosität identifiziert. Um eine noch höhere Dielektrizitätskonstante zwischen den Federwindungen zu erreichen. wurden Suspensionen aus Silikonöl und nanokristallinem Bariumtitanat hergestellt und bezüglich ihrer Langzeitstabiltät charakterisiert. - Gemäß den Anforderungen des Projektpartners KOMPASS wurden maßgeschneiderte Al2O3-Federn mit einer Federkonstante < 0,1 N/mm hergestellt und für den Aufbau des finalen Demonstrator eingesetzt. Die prinzipielle Funktionsfähigkeit des neuen Sensorkonzeptes auf Basis keramischer Federn wurde mit dem im Projekt aufgebauten Demonstrator nachgewiesen. Die Umsetzung der F+E-ergebnisse in eine industrielle Nutzung zur Herstellung von Gravimetern wird vom Projektpartner KOMPASS angestrebt und ist bereits mit detaillierten Zeitplänen untersetzt. KW - Langzeitstabilität KW - Sensorik KW - Keramikfeder KW - Spannungs-Dehnungs-Verhalten PY - 2019 UR - https://www.gbv.de/dms/tib-ub-hannover/1681417375.pdf UR - https://www.tib.eu/de/suchen/id/TIBKAT%3A1681417375/Alterungsbest%C3%A4ndige-keramische-Federsensoren-durch/ SP - 1 EP - 64 PB - Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung CY - Berlin AN - OPUS4-50742 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Schulz, Bärbel A1 - Rabe, Torsten A1 - Salehi, Mahdi T1 - High-temperature stability of ceramic springs N2 - Metallic springs undergo oxidation and creep at elevated temperatures and their use is limited to temperature of about 650°C. Therefore, there is a need for stable materials which can easily withstand temperatures up to 1000°C for long periods in different atmospheres. Ceramic materials have been drawing attention due to their excellent properties. This work aimed at investigating the high-temperature stability of zirconia and alumina ceramic springs at elevated temperatures under different atmospheres (air, N2 and H2) in order to determine the limitation of use of these ceramic springs. T2 - DKG 2017 CY - Berlin, Germany DA - 20.03.2017 KW - Ceramic spring KW - High-temperature stability KW - Harsh environments KW - Spring constant PY - 2017 AN - OPUS4-40289 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Kohler, C. A1 - Nikfalazar, M. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Schulz, Bärbel A1 - Mikolajek, M. A1 - Rabe, Torsten A1 - Jakoby, R. A1 - Binder, J. T1 - Implementation of Ba0.6Sr0.4TiO3-ZnO-B2O3 based tunable microwave phase shifters in LTCC technology N2 - Tunable dielectric Ba0.6Sr0.4TiO3-ZnO-B2O3 thick-films were analyzed regarding their integration potential into the LTCC technology. Therefore, tunable loaded line phase shifters based on metal-insulator-metal varactors with single- and double- printed BST thick-films were fabricated and co-sintered inside a four layer LTCC module. Microstructural and chemical investigations showed a sufficient compatibility and adhesion between the silver, BST composite and LTCC layers and a resulting morphology depending on the processing route. The microwave characterization of the LTCC-embedded phase shifters revealed comparable results to phase shifters with the same design on alumina substrates. KW - Thick films KW - Dielectric materials KW - Electroceramics PY - 2017 DO - https://doi.org/10.1111/ijac.12687 SN - 1546-542X SN - 1744-7402 VL - 14 IS - 4 SP - 574 EP - 582 PB - Wiley CY - Hoboken, NY, USA AN - OPUS4-41086 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -