TY - GEN A1 - Paatsch, Wolfgang A1 - Beck, Uwe A1 - Senoner, Mathias T1 - Entwicklung von Referenzmaterialien für die Oberflächentechnik im Mikrometer- und Nanometerbereich T2 - Oberflächentage 2004 T2 - Oberflächentage 2004 ; 42. Jahrestagung. Deutsche Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik CY - Dresden, Deutschland DA - 2004-09-22 KW - Laterale Auflösung KW - Nanometrologie KW - Nanotechnologie KW - Oberflächenanalytik KW - Zertifiziertes Referenzmaterial PY - 2004 SN - 3-9806061-2-0 SP - 263 EP - 266 PB - DGO CY - [Hilden] AN - OPUS4-4582 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Senoner, Mathias A1 - Beck, Uwe A1 - Paatsch, Wolfgang T1 - Materialien mit Maß JF - Metalloberfläche KW - Nanometrologie KW - Nanotechnologie KW - Oberflächenanalytik KW - Qualitätssicherung KW - Schichtanalytik KW - Zertifiziertes Referenzmaterial PY - 2005 SN - 0026-0797 SN - 0043-2792 VL - 59 IS - 1-2 SP - 28 EP - 31 PB - IGT, Informationsges. Technik CY - München AN - OPUS4-7143 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -