TY - GEN A1 - Ritter, Martin A1 - Dziomba, T. A1 - Xu, M. A1 - Koenders, L. A1 - Kranzmann, Axel T1 - Eine neue 3D Kalibrierstrategie für Mikro- und Nanomessverfahren T2 - VDI-Berichte / "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering", Tagung 29.- 30.11.2006 T2 - Tagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering" CY - Erlangen, Deutschland DA - 29.11.2006 KW - 3D Kalibrierung KW - Rastermikroskopie KW - Nanomarker PY - 2006 SN - 3-18-091950-7 IS - 1950 SP - 15 EP - 24 AN - OPUS4-16359 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Ritter, Martin A1 - Dziomba, T. A1 - Kranzmann, Axel A1 - Koenders, L. T1 - A landmark based 3D calibration strategy for SPM T2 - Nanoscale 2006, METAS T2 - Nanoscale 2006, METAS CY - Wabern, Switzerland DA - 2006-04-24 PY - 2006 AN - OPUS4-12174 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -