TY - GEN A1 - Ritter, Martin A1 - Dziomba, T. A1 - Xu, M. A1 - Koenders, L. A1 - Kranzmann, Axel T1 - Eine neue 3D Kalibrierstrategie für Mikro- und Nanomessverfahren T2 - Tagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering" CY - Erlangen, Deutschland DA - 29.11.2006 KW - 3D Kalibrierung KW - Rastermikroskopie KW - Nanomarker PY - 2006 SN - 3-18-091950-7 IS - 1950 SP - 15 EP - 24 AN - OPUS4-16359 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -