TY - RPRT A1 - Seah, M.P. A1 - Spencer, S.J. A1 - Bensebaa, F. A1 - Vickridge, I. A1 - Danzebrink, H. A1 - Krumrey, M. A1 - Gross, Thomas A1 - Österle, Werner A1 - Wendler, E. A1 - Rheinländer, B. A1 - Azuma, Y. A1 - Kojima, I. A1 - Suzuki, N. A1 - Suzuki, M. A1 - Tanuma, S. A1 - Moon, D.W. A1 - Lee, H.J. A1 - Cho, H.M. A1 - Chen, H.Y. A1 - Wee, A. T. S. A1 - Osipowicz, T. A1 - Pan, J.S. A1 - Jordaan, W.A. A1 - Hauert, R. A1 - Klotz, U. A1 - van der Marel, C. A1 - Verheijen, M. A1 - Tamminga, Y. A1 - Jeynes, C. A1 - Bailey, P. A1 - Biswas, S. A1 - Falke, U. A1 - Nguyen, N.V. A1 - Chandler-Horowitz, D. A1 - Ehrstein, J.R. A1 - Muller, D. A1 - Dura, J.A. T1 - Ultra-thin SiO2 on Si, Part V: Results of a CCQM Pilot Study of Thickness Measurements KW - SiO2 KW - Thin films KW - Thickness KW - XPS KW - Ellipsometry KW - TEM PY - 2003 SN - 1473-2734 SP - 57 pages AN - OPUS4-4118 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -