TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Computerprogramm zu Modellierung der Spektrometerantwortfunktion eines energiedispersiven Röntgenspektrometers T2 - Fachtagung Prozessnahe Röntgenanalytik (PRORA 2007) CY - Berlin, Germany DA - 2007-11-15 PY - 2007 AN - OPUS4-16935 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - JOUR A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. A1 - Hirsch, D. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm N2 - High-accuracy film thickness measurements in the range below 100 nm can be made by various complex methods like spectral ellipsometry (SE), scanning force microscopy (SFM), grazing incidence X-ray reflectometry (GIXR), or X-ray fluorescence analysis (XRF). The measurement results achieved with these methods are based on different interactions between the film and the probe. A key question in nanotechnology is how to achieve consistent results on a level of uncertainty below one nanometre with different techniques. Two different types of thickness standards are realised. Metal film standards for X-ray techniques in the thickness range 10 to 50 nm are calibrated by GIXR with monochromatised synchrotron radiation of 8048 eV. The results obtained at four different facilities show excellent agreement. SiO2 on Si standards for SE and SFM in the thickness range 6 to 1000 nm are calibrated by GIXR with monochromatised synchrotron radiation of 1841 eV and with a metrological SFM. Consistent results within the combined uncertainties are obtained with the two methods. Surfaces and interfaces of both types of standards are additionally investigated by transmission electron microscopy (TEM). PY - 2004 DO - https://doi.org/10.1007/s00339-003-2273-7 SN - 0947-8396 VL - 78 IS - 5 SP - 645 EP - 649 PB - Springer CY - Berlin AN - OPUS4-17195 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Modelling the response function of an EDS with a silicon detector T2 - European X-ray Spectroscopy Conference CY - Cavtat, Croatia DA - 2008-06-16 PY - 2008 AN - OPUS4-17602 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - About the calibration of thickness standards on the nanometer scale T2 - EUSPEN 2002 CY - Eindhoven, Netherlands DA - 2002-05-26 PY - 2002 AN - OPUS4-3259 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Abschätzung der Dicke absorbierender Schichten eines EDX-Detektorsystems mit Hilfe von Bremsstrahlungsspektren T2 - 29. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO) CY - Münster, Germany DA - 1996-10-08 PY - 1996 AN - OPUS4-3260 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Eine Mikrofokus-Röntgenquelle als Zusatz zum Raserelektronenmikroskop für die Röntgenflüoreszenzanalyse T2 - Fachtagung "PRORA 2003" CY - Berlin, Germany DA - 2003-04-03 PY - 2003 AN - OPUS4-4369 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Fehlermöglichkeiten bei der ESMA am REM/EDX T2 - Kundenschulung der Fa. Röntec CY - Strausberg, Germany DA - 2003-06-04 PY - 2003 AN - OPUS4-4370 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Film thickness standards for X-ray techniques and ellipsometry T2 - Workshop Metrology CY - Plzen, Czech Republic DA - 2002-10-20 PY - 2002 AN - OPUS4-4322 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Detection efficiency of energy dispersive detectors: high accuracy measurement and modelling T2 - European Conference on X-Ray Spectrometry CY - Alghero, Italy DA - 2004-06-06 PY - 2004 AN - OPUS4-4603 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Stand und Perspektiven der Materialanalyse mittels Röntgenspektroskopie am Rasterelektronenmikroskop T2 - Kolloquium des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologie (ZMN) CY - Ilmenau, Germany DA - 2004-03-31 PY - 2004 AN - OPUS4-4610 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Synchrotron Radiation for the Characterization of Energy Dispersive X-ray Spectrometers T2 - Microscopy and Microanalysis CY - Savannah, GA, USA DA - 2004-08-02 PY - 2004 AN - OPUS4-4612 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Qualitätssicherung in einem REM/EDX-Labor T2 - Workshop "Raster-Elektronen-Mikroskopie in der Mikroverbindungstechnik" des FhG-IZM CY - Berlin, Germany DA - 1999-10-27 PY - 1999 AN - OPUS4-6054 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Quantitative Analysis in EDS T2 - Short Course "Energy Dispersive X-ray Microanalysis" der DPG Konstanz CY - Konstanz, Germany DA - 1999-05-03 PY - 1999 AN - OPUS4-6034 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - RDXTOOLS - Computer Programmes for the Determination of Critical EDX System Parameters T2 - EMAS´99, 6th Workshop of the European Microanalysis Society CY - Konstanz, Germany DA - 1999-05-03 PY - 1999 AN - OPUS4-6077 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Aufbau und Funktionsweise von energiedispersiven Röntgenspektrometern T2 - 32. Kolloquium EDO CY - Saarbrücken, Germany DA - 2000-09-18 PY - 2000 AN - OPUS4-6121 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Einsatz des Röntec MultiMax in der Materialforschung und -prüfung T2 - Festkolloquium zum 10-jährigen Bestehen der Firma Röntec CY - Berlin, Germany DA - 2001-05-28 PY - 2001 AN - OPUS4-6153 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Erfahrungen mit STRATAGEM bei der Bestimmung von Metallschichtdicken im Nanometerbereich T2 - SAMx-Anwender-Treffen CY - Halle (Saale), Germany DA - 2001-07-02 PY - 2001 AN - OPUS4-6154 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Wie genau ist standardlose Elektronenstrahl-Mikroanalyse? T2 - Kolloquium "Ausgewählte analytische Methoden der Physik" - TU-Berlin, Institut für Atomare Physik und Fachdidaktik CY - Berlin, Germany DA - 2002-10-29 PY - 2002 AN - OPUS4-6248 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - EDX-Spektrometerüberprüfung an der BAM gemäß ISO 17025 T2 - ThermoNORAN Nutzertreffen CY - Marburg, Germany DA - 2002-11-05 PY - 2002 AN - OPUS4-6249 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Procop, Mathias T1 - Elektronenstrahl-Mikroanalyse T2 - Kolloquium "Ausgewählte analytische Methoden der Physik", TU-Berlin - Institut für Atomare Physik und Fachdidaktik CY - Berlin, Germany DA - 2001-12-11 PY - 2001 AN - OPUS4-6206 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -