TY - CONF A1 - Holzweber, M. A1 - Lippitz, Andreas A1 - Hesse, R. A1 - Hodoroaba, Vasile-Dan A1 - Werner, W. A1 - Denecke, R. A1 - Unger, Wolfgang T1 - Ionische Flüssigkeiten als Referenzmaterial in der Oberflächenanalytik N2 - Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) ist eine der meist verbreiteten Methoden zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Festkörpern und dünnen Schichten. Durch die technologische Weiterentwicklung energiedispersiver Röntgenspektrometer wurde die Leistungsfähigkeit auch im niederenergetischen Bereich unter 1 keV verbessert. Geeignete Testmaterialien zur Überprüfung der Leistungsfähigkeit im niederenergetischen Bereich in Übereinstimmung mit ISO 15632 sind kaum vorhanden und basieren hauptsächlich auf C K und F K Linien. Um gültige Resultate aus akkreditierten und zertifizierten Prüf- und Kalibrierlaboratorien in Übereinstimmung mit ISO/IEC 17025 zu gewährleisten sind regelmäßige Funktionsprüfungen der Spektrometer notwendig. In einer Machbarkeitsstudie wurde die Eignung einer bestimmten Substanz-klasse, nämlich ionische Flüssigkeiten, als Referenzmaterial zur routinemäßi-gen Überprüfung der Energieskala, der Energieauflösung und der Spektrometer Effizienz untersucht. Es kann gezeigt werden, dass mit einer einzigen Messung an einem einzigen Referenzmaterial mehrere Geräteparameter überprüft werden können. Damit ist es im niederenergetischen Bereich möglich regelmäßige Funktionsprüfungen von Spektrometern durchzuführen, aber auch die Leistungsfähigkeit verschiedener Spektrometer zu vergleichen. Beides kann sehr effizient durch einen einfachen qualitativen Vergleich mehrerer Spektren erreicht werden. Durch die Verwendung von ionischen Flüssigkeiten als Referenzmaterial, deren Stöchiometrie genau bekannt ist bzw. zertifiziert werden kann, können eventuell sogar die gängigen Modelle zur Matrixkorrektur validiert werden. Auch wäre eine Neubewertung von Fundamentalparametern (Fluoreszenzausbeute, Massenschwächungskoeffizienten usw.) von Elementen niedriger Ordnungszahl möglich. T2 - 19. Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA) CY - Soest, Germany DA - 05.09.2016 KW - Ionische Flüssigkeiten KW - Referenzmaterial KW - Oberflächenanalytik PY - 2016 UR - http://www.awz-soest.fraunhofer.de/de/aofa2016.html AN - OPUS4-37322 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -