TY - GEN A1 - Bertram, R. A1 - Stephanowitz, H. A1 - Heinrich, Hans-Joachim A1 - Rost, H.-J. A1 - Lüdke, C. A1 - Hassler, J. ED - Möller, H. J. ED - Roewer, G. T1 - Spurenelementverteilung in Siliciumcarbid-Einkristallen - Vergleich analytischer Feststoffmethoden T2 - Freiberger Siliziumtage 2005 ; Freiberger Forschungsforum ; 56. Berg- und Hüttenmännischer Tag CY - Freiberg, Deutschland DA - 2005-06-15 KW - Einkristall KW - Siliciumcarbid KW - Halbleitereigenschaft KW - Leistungselektronik KW - Feststoffbestimmung KW - Chemische Analyse KW - Nachweisgrenze KW - Kristalldefekt KW - Spurenelement KW - Feststoffanalytik KW - ETV ICP OES KW - SS ET AAS KW - LA-ICP-MS KW - Elektrothermische Verdampfung KW - Laserablation PY - 2006 SN - 978-3-86012-295-2 SN - 0071-9420 N1 - Serientitel: Freiberger Forschungshefte / B – Series title: Freiberger Forschungshefte / B IS - 337 SP - 122 EP - 138 PB - Techn. Univ. Bergakad. CY - Freiberg AN - OPUS4-15834 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -