TY - CONF A1 - Binder, J. R. A1 - Kohler, C. A1 - Nikfalazar, M. A1 - Maune, H. A1 - Jakoby, R. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Schulz, Bärbel A1 - Rabe, Torsten T1 - Integration von gedruckten, steuerbaren Mikrowellenkomponenten in LTCC Module N2 - Rekonfigurierbare Mikrowellenkomponenten spielen in modernen Kommunikationssystemen eine wichtige Rolle, um den zunehmenden Anforderungen in Bezug auf Funktionalität und Flexibilität der Systeme gerecht zu werden. Für die Realisierung steuerbarer Mikrowellenbauteile eignen sich verschiedene Technologien, wie z. B. die Halbleitertechnik, mikroelektromechanische Systeme (MEMS) oder ferroelektrische Dünn- und Dickschichten. Prinzipiell zeichnen sich ferroelektrische Materialien durch hohe Schaltgeschwindigkeiten, einen vernachlässigbaren Leistungsverbrauch und geringe Prozesskosten aus. Insbesondere ferroelektrische Dickschichten auf Basis von Barium-Strontium-Titanat (BaxSri-xTiCb, BST) stellen aussichtsreiche Systeme für den Einsatz im Frequenzbereich bis ca. 12 GHz dar. Allerdings unterliegt die Herstellung dieser BST-Dickschichtvaraktoren einer Einschränkung: Aufgrund der erforderlichen hohen Sintertemperatur von über 1100°C ist die Anordnung der Varaktoren auf planare Strukturen begrenzt. In diesem Beitrag wird zum einen die Entwicklung von BST-ZnO-B203 Komposit-Dickschichten zur Verringerung der Sintertemperatur auf 850-900°C präsentiert und die Material- und Bauteileigenschaften der Komposite bzw. entsprechender MIM-(metal-insulator-metal) Varaktoren mit planar strukturierten Varaktoren auf Basis von BST-Dickschichten verglichen. Zum anderen wird die Integration solcher MIM-Varaktoren auf Basis der niedrigsinternden BST-Komposite in LTCC Module aufgezeigt. T2 - DKG Herbstsymposium CY - Erlangen, Germany DA - 30.11.2016 KW - Mikrowellenkomponenten KW - Phasenschieber KW - Siebdrucken KW - LTCC PY - 2016 AN - OPUS4-38658 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - CONF A1 - Binder, J. R. A1 - Kohler, Ch. A1 - Nikfalazar, M. A1 - Maune, H. A1 - Jakoby, R. A1 - Heunisch, Andreas A1 - Schulz, Bärbel A1 - Rabe, Torsten T1 - Integration of screen-printed tunable BST thick films in LTCC modules for microwave applications N2 - Reconfigurable microwave components play an important role in modern communication systems to meet the increasing demands for functionality and flexibility of the systems. Various technologies, such as semiconductor technology, microelectromechanical systems (MEMS) or ferroelectric thin and thick films, are suitable for the realization of tunable microwave components. Ferroelectric materials are characterized by high tuning speeds, negligible power consumption and low manufacturing costs. In particular, ferroelectric thick films based on barium strontium titanate (BaxSr1-xTiO3, BST) are promising systems for use in the frequency range up to approx. 12 GHz. However, due to the high sintering temperatures above 1100°C for pure BST thick films, the fabrication of tunable components based on silver or gold electrodes is limited to planar structures, which are applied after the sintering process. In this presentation, it will be shown the development of BST-ZnO-B2O3 composite materials for reducing the sintering temperature to 850-900°C. Furthermore, the material and component properties of these composites or rather corresponding MIM (metal-insulator-metal) varactors are presented and compared to planar-structured varactors. The LTCC integration potential of such fully screen-printed MIM varactors based on the developed low sintering BST composites are investigated by the fabrication of phase shifters embedded in LTCC modules. T2 - European Ceramic Society Conference CY - Budapest, Hungary DA - 09.07.2017 KW - Dialectric materials KW - Microwave application KW - Screen printing KW - Phase shifter PY - 2017 AN - OPUS4-41478 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -