TY - CONF A1 - Cobet, C. A1 - Wollschläger, Nicole A1 - Esser, N. A1 - Richter, W. A1 - Baudach, Steffen A1 - Beck, Uwe A1 - Männ, Marion A1 - Brunn, S. A1 - Gruska, B. A1 - Richter, U. T1 - VUV-XUV-Ellipsometrie mit Synchrotronstrahlung T2 - 2. Workshop Ellipsometrie CY - Berlin, Deutschland DA - 2002-02-18 PY - 2002 AN - OPUS4-2282 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -