TY - CONF A1 - Baudach, Steffen T1 - A VUV-XUV Ellipsometrie Setup at Bessy II T2 - ICSE 3 Konferenz CY - Vienna, Austria DA - 2003-07-06 PY - 2003 AN - OPUS4-4313 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -