TY - GEN A1 - Beck, Uwe T1 - Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie / Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry KW - Ellipsometrie PY - 2004 N1 - Sprachen: Deutsch/Englisch - Languages: German/English IS - DIN PAS 1022 SP - 1 EP - 17 PB - Beuth CY - Berlin AN - OPUS4-3000 LA - mul AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -