TY - RPRT A1 - Senoner, Mathias T1 - Report on an inter-laboratory comparison - Measurement of lateral structures in the nanometre range with Secondary Ion Mass Spectrometry; Project "Quality Assurance in Nano-scale Analysis" (Abschlussbericht) KW - Laterale Auflösung KW - Nanotechnologie KW - Oberflächenanalytik KW - Ringversuch KW - Sekundärionen-Massenspektrometrie KW - SIMS PY - 2003 SP - 1 EP - 34 PB - Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung CY - Berlin AN - OPUS4-6879 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - RPRT A1 - Senoner, Mathias T1 - Ringversuch - Bestimmung von Stufenhöhen im Nanometerbereich mit dem Rasterkraftmikroskop - Abschlussbericht (Projekt "Qualitätssicherung in der Nanoanalytik") KW - AFM KW - Nanotechnologie KW - Rasterkraftmikroskopie KW - Ringversuch KW - Stufenhöhenbestimmung KW - Verfahrensvalidierung PY - 2001 SP - 1 EP - 41 CY - Berlin AN - OPUS4-6880 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER - TY - RPRT A1 - Senoner, Mathias A1 - Unger, Wolfgang A1 - Powell, C. T1 - Surface chemical analysis - General procedures - Determination of lateral resolution T2 - Working Draft ISO Technical Report - ISO/PDTR 19319 KW - AES KW - Contrast transfer function KW - Imaging KW - ISO TC 201 KW - Lateral resolution KW - Performance of imaging instruments KW - Quality management systems KW - Simulation KW - SIMS KW - XPS PY - 2009 SP - 1 EP - 65 AN - OPUS4-19158 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -